| .. |
|
Clean.cs
|
5924c8ee8e
mars200
|
преди 1 година |
|
CyclePurgeRoutine.cs
|
248c92125c
1.当Efem robot 处于picking、placing状态时出错，调用系统Abort,整个调度停止
|
преди 10 месеца |
|
Fdc.cs
|
5924c8ee8e
mars200
|
преди 1 година |
|
GasFlowRoutine.cs
|
c16628dbc4
1.增加交换
|
преди 1 година |
|
PMATMProcessRoutine.cs
|
c16628dbc4
1.增加交换
|
преди 1 година |
|
PMHomeRoutine.cs
|
5924c8ee8e
mars200
|
преди 1 година |
|
PMLeakCheckRoutine.cs
|
c16628dbc4
1.增加交换
|
преди 1 година |
|
PMMfcVerificationRoutine.cs
|
ea766340ce
1.增加素珀手臂配置以及增加了吸附和释放
|
преди 10 месеца |
|
PMPostTransferRoutine.cs
|
c16628dbc4
1.增加交换
|
преди 1 година |
|
PMPrepareTransferRoutine.cs
|
fa35e26745
1.recipe报错后，工艺步数会停留在报错的步数
|
преди 1 месец |
|
PMRoutineBase.cs
|
248c92125c
1.当Efem robot 处于picking、placing状态时出错，调用系统Abort,整个调度停止
|
преди 10 месеца |
|
PMTransferHandoffRoutine.cs
|
c16628dbc4
1.增加交换
|
преди 1 година |
|
Process_FA.cs
|
5924c8ee8e
mars200
|
преди 1 година |
|
PumpDownRoutine.cs
|
c16628dbc4
1.增加交换
|
преди 1 година |
|
RfPowerRoutine.cs
|
8390219dbc
老的mars版本RfPowerRoutine，CheckRFPowerOff() 直接返回true
|
преди 5 месеца |
|
StartPumpRoutine.cs
|
c16628dbc4
1.增加交换
|
преди 1 година |
|
TemperatureControlRoutine.cs
|
c16628dbc4
1.增加交换
|
преди 1 година |
|
VentRountine.cs
|
c16628dbc4
1.增加交换
|
преди 1 година |
JET-YDB\JET-YANGDB
fa35e26745
1.recipe报错后，工艺步数会停留在报错的步数