| .. |
|
EFEM
|
38b40b702d
1.修复all in all out 不做cooling bug
|
преди 4 месеца |
|
LLs
|
f92e6abb17
1.添加Kepler2300 功能代码
|
преди 2 месеца |
|
LPs
|
9e9459c927
efem界面按钮功能优化
|
преди 10 месеца |
|
PMs
|
031a4236bf
1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警
|
преди 1 месец |
|
SMIF
|
49815fb19f
add VCE Module in UI && fix bug in SE Cycle
|
преди 1 година |
|
Schedulers
|
6447434c5b
Venus代码删除
|
преди 3 месеца |
|
TM
|
f92e6abb17
1.添加Kepler2300 功能代码
|
преди 2 месеца |
|
AutoCycle.cs
|
38b40b702d
1.修复all in all out 不做cooling bug
|
преди 4 месеца |
|
Autotransfer_LP_FA.cs
|
8cf03142ec
Add the PreClean,PostClean in SequenceInfo && Add DESequenceFormat.xml for Sequence && Add Venus DETM IO && fix VCEA pump Open in UI
|
преди 10 месеца |
|
DVIDName.cs
|
44fc6989ef
1、Remove FabConnect dll file;
|
преди 1 година |
|
EntityErrorRaiseTrigger.cs
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
преди 1 година |
|
EntityTaskBase.cs
|
5b037046f9
Add TM/LL modules.
|
преди 2 години |
|
ManualTransfer.cs
|
3b1932fced
Add Loadport loaded check while manual transfer wafer.
|
преди 9 месеца |
|
ResourceMonitor.cs
|
3838ce8c36
1. Change the logic of Reset RF/Pump/CustomItem count
|
преди 8 месеца |
|
RouteManager.cs
|
6ec37ea42c
1.与Venus分开，删除冗余代码
|
преди 3 месеца |
|
SystemDispatcher.cs
|
54c8557dd6
调度优化
|
преди 2 месеца |
|
TMCycle.cs
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
преди 1 година |
lixiang
031a4236bf
1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警