| .. |
|
Attributes
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
1 рік тому |
|
Properties
|
8582fd7e94
Venus初始版本提交
|
2 роки тому |
|
Chamber.cs
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
1 рік тому |
|
ConfigType.cs
|
f09d7d1b15
分开所有系列配置文件
|
1 рік тому |
|
ConvertPressureUnit.cs
|
bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
|
1 рік тому |
|
DataName.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
2 роки тому |
|
DeviceName.cs
|
124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
|
1 рік тому |
|
EventDefine.cs
|
a3f01b0830
1、重新引用最新版本的SecsGem动态库，用于实现FA相应的功能；
|
1 рік тому |
|
FADefine.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
2 роки тому |
|
GlobalEvents.cs
|
ba61077913
增加拖片功能
|
1 рік тому |
|
HighTemperatureHeaterPosition.cs
|
ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
|
1 рік тому |
|
InvokeName.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
2 роки тому |
|
Kepler2300Device.cs
|
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
|
1 рік тому |
|
MFCCalibrationData.cs
|
3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
|
1 рік тому |
|
ModuleName.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
2 роки тому |
|
PMLeakCheckResult.cs
|
ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
|
1 рік тому |
|
PartialPressureResult.cs
|
796541e5a6
现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能
|
1 рік тому |
|
PressureType.cs
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 рік тому |
|
ProcessUnitDefine.cs
|
2cbab729fb
添加小标题 home/online/offineInclude/Exclude功能
|
1 рік тому |
|
Recipe.cs
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
1 рік тому |
|
RecipeResult.cs
|
bcc9d2faf8
1、Chamber add the waferID
|
1 рік тому |
|
RecipeToleranceChecker.cs
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
1 рік тому |
|
RobotArmPan.cs
|
b2e38c8ff3
Add unuploaded files
|
1 рік тому |
|
RtState.cs
|
9d9b666ea4
Venus SE Update
|
1 рік тому |
|
SCValue.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
2 роки тому |
|
SerializeHelper.cs
|
8d21b41b42
AutoCycle enhancement.
|
1 рік тому |
|
SignalTowerItem.cs
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
1 рік тому |
|
StepItem.cs
|
edb5ad6960
1.添加数据分析 Recipe step功能
|
1 рік тому |
|
SubItem.cs
|
bb33e89998
1，优化UI界面
|
2 роки тому |
|
TM.cs
|
dfc9174ac8
VenusSE TM PM Simulator Update
|
1 рік тому |
|
VATPerformanceResult.cs
|
796541e5a6
现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能
|
1 рік тому |
|
ValveType.cs
|
136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
|
1 рік тому |
|
VenusDevice.cs
|
2ffdf6e535
1Venus DE LinerDoor update
|
1 рік тому |
|
VenusMenu.cs
|
5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能
|
1 рік тому |
|
Venus_Core.csproj
|
f09d7d1b15
分开所有系列配置文件
|
1 рік тому |
|
VirgoDevice.cs
|
9760d40cf7
port simulator
|
2 роки тому |
