| .. |
|
PM
|
0b8a98a845
IoDevice IoMagnet Add
|
vor 1 Jahr |
|
TM
|
3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
|
vor 1 Jahr |
|
ClusterGemModel.xml
|
60e9a04892
Simulator LP3 Update
|
vor 1 Jahr |
|
DBModel.sql
|
df4447c2d2
PMhomeRoutine add VenusDE chambertype
|
vor 1 Jahr |
|
DataGroup.xml
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
vor 1 Jahr |
|
DeviceModel.xsd
|
d8e5f1dc2c
2022 last update
|
vor 2 Jahren |
|
EquipmentVariables.xml
|
7dc2089ceb
1、add PortWaferStart/PortWaferEnd event sequence name parameter;
|
vor 1 Jahr |
|
EventDefine.xml
|
3f9c41937a
update for event module enhancement
|
vor 2 Jahren |
|
IoProviderConfig.xml
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
vor 1 Jahr |
|
LogDefine.json
|
0b8a98a845
IoDevice IoMagnet Add
|
vor 1 Jahr |
|
RecipeFormat.xml
|
9760d40cf7
port simulator
|
vor 2 Jahren |
|
SESequenceFormat.xml
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
vor 1 Jahr |
|
SVID.xls
|
63d58afa42
1、SecsGem增加了UTF-8编码的支持；
|
vor 1 Jahr |
|
SequenceFormat.xml
|
4259958c23
Remove the Align angle definition in sequence and implement the Loadlock delay function.
|
vor 1 Jahr |
|
SignalTower.xml
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
vor 1 Jahr |
|
System.sccfg
|
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
|
vor 1 Jahr |
|
System_Kepler2200.sccfg
|
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
|
vor 1 Jahr |
|
System_Kepler2300.sccfg
|
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
|
vor 1 Jahr |
|
System_VenusDE.sccfg
|
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
|
vor 1 Jahr |
|
System_VenusSE.sccfg
|
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
|
vor 1 Jahr |
|
VenusPreProcess.py
|
64c7ef574e
log
|
vor 2 Jahren |
lixiang
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存