.. |
IoBacksideHe.cs
|
2bcfec21f1
修改以兼容kepler2300 recipe 修改recipe界面中chuck dechuck出现的时机 补充选项中的空值
|
1 yıl önce |
IoCylinder.cs
|
cdf41d68fe
1.优化数据库实时数据插入功能,恢复数据查询/实时数据查看等功能
|
1 yıl önce |
IoGasStick.cs
|
2d424f4cab
优化漏气检测算法,给TM界面添加 1.删除/添加wafer 2.PM/LL自动隐藏功能
|
2 yıl önce |
IoHeartbeat.cs
|
af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
|
2 yıl önce |
IoHeater.cs
|
cdf41d68fe
1.优化数据库实时数据插入功能,恢复数据查询/实时数据查看等功能
|
1 yıl önce |
IoHighTemperatureHeater.cs
|
e511d1f387
1.添加PM控压功能
|
1 yıl önce |
IoLid.cs
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配,默认PMA Venus,PMB Kepler2300
|
1 yıl önce |
IoMfc.cs
|
d89a4c81f9
Enhance Routing algorithm and simulator configure file path.
|
1 yıl önce |
IoPressureControl.cs
|
5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动,并添加模拟器与UI界面功能
|
1 yıl önce |
IoPressureMeter.cs
|
cdf41d68fe
1.优化数据库实时数据插入功能,恢复数据查询/实时数据查看等功能
|
1 yıl önce |
IoSignalLight.cs
|
af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
|
2 yıl önce |
IoSignalTower.cs
|
f211c4242f
Efem module raw design.
|
1 yıl önce |
IoSwitch.cs
|
8f80478982
1.添加IoSwitch
|
1 yıl önce |
IoTMPressureCtl.cs
|
b6acfe2e29
优化TM leak check功能
|
1 yıl önce |
IoTMSEPressureCtl.cs
|
31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
|
1 yıl önce |