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lixiang a98efc8a0b 1.修改kepler2300 FDC 运行报错bug 1 年間 前
..
EventDefine.cs a5245356d0 source files 2 年 前
Fdc.cs 17ae6db63c kepler2200/Kepler2300 添加FDC 功能 1 年間 前
GasBoxLeakCheckRoutine.cs 945ce3c74c 1.Venus SE DE Add PressureControl 1 年間 前
GasFlowRoutine.cs c332b95d39 venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function 1 年間 前
LLPickRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. 1 年間 前
LLPlaceRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. 1 年間 前
LoadLockLeakCheckRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. 1 年間 前
LoadLockPumpRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. 1 年間 前
LoadLockPurgeRoutine.cs bdcf0556c9 1.将kepler2200与其它项目配置文件分开 1 年間 前
LoadLockVentRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. 1 年間 前
PMEntity.cs 4634f3f91a 1。设置log最大500M，超出分文件（解决文件太大，log打不开） 1 年間 前
PMGasVerificationRoutine.cs d4d56a3cf3 1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对 1 年間 前
PMGaslinePurgeRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. 1 年間 前
PMHeatRoutine.cs c8af7de363 将kepler与Venus UI配置分开，添加Heat Routine 1 年間 前
PMHomeRoutine.cs c332b95d39 venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function 1 年間 前
PMLeakCheckRoutine.cs 9de8ce9b11 Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update 1 年間 前
PMPartialPressureRoutine.cs 945ce3c74c 1.Venus SE DE Add PressureControl 1 年間 前
PMProcessRoutine.cs a98efc8a0b 1.修改kepler2300 FDC 运行报错bug 1 年間 前
PMProcess_FA.cs 774c804aa9 fixed pm event occurs carrierid is null 1 年間 前
PMPurgeRoutine.cs 9de8ce9b11 Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update 1 年間 前
PMRoutineBase.cs 945ce3c74c 1.Venus SE DE Add PressureControl 1 年間 前
PMVATPerformanceRoutine.cs 945ce3c74c 1.Venus SE DE Add PressureControl 1 年間 前
Process.cs 3cad102221 更新 RT 2 年 前
ProcessDefine.cs fedcc95273 1.Venus DE process enhance 1 年間 前
PumpDownRoutine.cs b0e5581d4e delete some item in SE Config && add WallChiller in DE && add ConfigItem for pump check ForelinePressure in every chambertype 1 年間 前
RFPowerSwitchRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. 1 年間 前
StartDryPumpRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. 1 年間 前
StartTurboPumpRoutine.cs 9de8ce9b11 Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update 1 年間 前
VentRoutine.cs c332b95d39 venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function 1 年間 前
VenusRecipeFileContext.cs 7d93bf0076 Job Clean function, not finished. 1 年間 前
VenusSequenceFileContext.cs a5542b5c2c add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule 1 年間 前
VirgoRecipeFileContext.cs 896c7407de 优化log功能 2 年 前
VirgoSequenceFileContext.cs 896c7407de 优化log功能 2 年 前