| .. |
|
UILayout.xml
|
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
|
1 vuosi sitten |
|
_ioDefineKepler2200A.xml
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 vuosi sitten |
|
_ioDefineKepler2200B.xml
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 vuosi sitten |
|
_ioDefineKepler2300.xml
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
2 vuotta sitten |
|
_ioDefineVenusDE.xml
|
b3a13fc6c7
1.IoMagnet device Logical supplement
|
1 vuosi sitten |
|
_ioDefineVenusSE.xml
|
f9d4a74265
1.Venus DE/SE Gasverification add missing pipes
|
1 vuosi sitten |
|
_ioDefineVenusSE_MF.xml
|
7875fff8f4
1Venus DE UI Update && Venus SE Simulator update
|
1 vuosi sitten |
|
_ioDefineVenus_MF.xml
|
3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
|
1 vuosi sitten |
hecl
b3a13fc6c7
1.IoMagnet device Logical supplement