| .. |
|
Kepler2200A
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
1 yıl önce |
|
Kepler2200B
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
1 yıl önce |
|
Kepler2300
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
1 yıl önce |
|
Venus
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
1 yıl önce |
|
VenusDE
|
9de8ce9b11
Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update
|
1 yıl önce |
|
VenusSE
|
9d9b666ea4
Venus SE Update
|
1 yıl önce |
hecl
9de8ce9b11
Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update