lixiang 8b6a73425d 添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度 преди 1 година
..
AdLinkEthercat ee26035034 1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData преди 1 година
EFEM d4d56a3cf3 1.添加Recipe内部外部名称,chamberTYpe 比对 преди 1 година
EPD c3ef1d5a6e Wafer loadlock delay function. преди 1 година
EPDs 4ffafb6001 EFEM界面优化 преди 1 година
IODevices 945ce3c74c 1.Venus SE DE Add PressureControl преди 1 година
PreAligner 136a0d3727 Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve. преди 1 година
SMIF 8436daeb68 Eliminate SE generation warning. преди 1 година
TM 8b6a73425d 添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度 преди 1 година
VCE 136a0d3727 Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve. преди 1 година
AIRSYSChiller.cs bdcf0556c9 1.将kepler2200与其它项目配置文件分开 преди 1 година
AdTecRF.cs 0f905564d0 加入登录界面和权限管理 преди 1 година
AdixenTurboPump.cs b2406d6f78 1.添加signalTonwer ui界面 преди 1 година
CometRF.cs 709c7a1c10 fixed the routing bug while B In B Out. преди 1 година
DataDefine.cs ee26035034 1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData преди 1 година
DeviceManager.cs 9e14bbee6a 1.由于PM种类变多,且分配置,PM 加载device 功能重写 преди 1 година
ESC5HighVoltage.cs f3bd6b016b 添加部分efem功能 преди 1 година
EdwardsPump.cs be22c5112d TM 添加两个pump 串口23/24/25/26 преди 1 година
FinsPlc.cs c457973fa2 1.添加Revtech Match преди 1 година
JetEPDBase.cs 4ffafb6001 EFEM界面优化 преди 1 година
JetEfem.cs 5fc13b3f0c New Efem design преди 1 година
JetKepler2200APM.cs 8b6a73425d 添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度 преди 1 година
JetKepler2200BPM.cs 8b6a73425d 添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度 преди 1 година
JetKepler2300PM.cs 8b6a73425d 添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度 преди 1 година
JetPMBase.cs 8b6a73425d 添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度 преди 1 година
JetVenusDEPM.cs 945ce3c74c 1.Venus SE DE Add PressureControl преди 1 година
JetVenusPM.cs af631c4aaa 1.添加RF Calibration功能 преди 1 година
JetVenusSEPM.cs 945ce3c74c 1.Venus SE DE Add PressureControl преди 1 година
JetVenusSEPMBase.cs 56f7c900fe add VenusSEPM class and IODefine && Set the pressure value in the simulation to always be no less than 0 преди 1 година
LzMatch_Ethercat.cs 6d6f659b77 1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa,添加工艺结束,等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能 преди 1 година
PendulumValve.cs 945ce3c74c 1.Venus SE DE Add PressureControl преди 1 година
PlasmaController.cs 75710d35d8 RF Match. преди 2 години
RevtechMatch.cs 2cbab729fb 添加小标题 home/online/offineInclude/Exclude功能 преди 1 година
SMCChiller.cs d15749f5b1 1.fix VenusSE show chiler temp bugs преди 1 година
SkyPump.cs 44fc6989ef 1、Remove FabConnect dll file; преди 1 година
TruPlasmaRF.cs 4338503e2a 1.添加霍庭格RF Device преди 1 година
TruPlasmaRF_Ethercat.cs 7ff42d4eca 1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能,c1/c2小于offset不设置 преди 1 година
VirgoSignalTower.cs 0f905564d0 加入登录界面和权限管理 преди 1 година