| .. |
|
Attributes
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
1 年間 前 |
|
Properties
|
8582fd7e94
Venus初始版本提交
|
2 年 前 |
|
Chamber.cs
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
1 年間 前 |
|
ConvertPressureUnit.cs
|
bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
|
1 年間 前 |
|
DataName.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
2 年 前 |
|
DeviceName.cs
|
124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
|
1 年間 前 |
|
EventDefine.cs
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
1 年間 前 |
|
FADefine.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
2 年 前 |
|
GlobalEvents.cs
|
ba61077913
增加拖片功能
|
1 年間 前 |
|
HighTemperatureHeaterPosition.cs
|
ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
|
1 年間 前 |
|
InvokeName.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
2 年 前 |
|
Kepler2300Device.cs
|
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
|
1 年間 前 |
|
MFCCalibrationData.cs
|
3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
|
1 年間 前 |
|
ModuleName.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
2 年 前 |
|
PMLeakCheckResult.cs
|
ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
|
1 年間 前 |
|
PartialPressureResult.cs
|
796541e5a6
现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能
|
1 年間 前 |
|
PressureType.cs
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 年間 前 |
|
ProcessUnitDefine.cs
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
1 年間 前 |
|
Recipe.cs
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
1 年間 前 |
|
RecipeResult.cs
|
bcc9d2faf8
1、Chamber add the waferID
|
1 年間 前 |
|
RecipeToleranceChecker.cs
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
1 年間 前 |
|
RobotArmPan.cs
|
b2e38c8ff3
Add unuploaded files
|
1 年間 前 |
|
RtState.cs
|
c80e520ac1
update Drive of HONGHU Robot to Dual-Arms && add VCE cassette in UI.RT && add SMIF/ISMIF.cs,LoadWithSMIFRoutine,UnloadWithSMIFRoutine
|
1 年間 前 |
|
SCValue.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
2 年 前 |
|
SerializeHelper.cs
|
8d21b41b42
AutoCycle enhancement.
|
1 年間 前 |
|
StepItem.cs
|
edb5ad6960
1.添加数据分析 Recipe step功能
|
1 年間 前 |
|
SubItem.cs
|
bb33e89998
1，优化UI界面
|
2 年 前 |
|
TM.cs
|
dfc9174ac8
VenusSE TM PM Simulator Update
|
1 年間 前 |
|
VATPerformanceResult.cs
|
796541e5a6
现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能
|
1 年間 前 |
|
ValveType.cs
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
1 年間 前 |
|
VenusDevice.cs
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
1 年間 前 |
|
VenusMenu.cs
|
5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能
|
1 年間 前 |
|
Venus_Core.csproj
|
08ec6feef2
1.优化数据分析界面颜色选择bug
|
1 年間 前 |
|
VirgoDevice.cs
|
9760d40cf7
port simulator
|
2 年 前 |
lixiang
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能