Sākums Izpētīt Palīdzība
Reģistrēties Pierakstīties
JetPlasma
/
Kepler-Release
Vērot 2
Pievienot zvaigznīti 0
Atdalīts 0
Faili Problēmas 0 Izmaiņu pieprasījumi 0 Vikivietne
Koks: 4634f3f91a
Atzari Tagi
Kepler-Release
/
Venus
/
Venus_RT
/
Modules
/
EFEM
lixiang d4d56a3cf3 1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对 1 gadu atpakaļ
..
EFEMAlignRoutine.cs c5ba2fb197 Transfer align angel from sequence to system configure and enable angle increasement by wafer. 1 gadu atpakaļ
EfemEntity.cs d4d56a3cf3 1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对 1 gadu atpakaļ
EfemHomeRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. 1 gadu atpakaļ
EfemPickRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. 1 gadu atpakaļ
EfemPlaceRoutine.cs 96661cadab 修复efem place ，tm同时有lp1与lp2 wafer时return wafer报错bug 1 gadu atpakaļ
EfemSwapRoutine.cs e61f018b66 Manual Return wafer while running cycle. 1 gadu atpakaļ