| .. |
|
EFEMAlignRoutine.cs
|
c5ba2fb197
Transfer align angel from sequence to system configure and enable angle increasement by wafer.
|
před 1 rokem |
|
EfemEntity.cs
|
d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对
|
před 1 rokem |
|
EfemHomeRoutine.cs
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
před 1 rokem |
|
EfemPickRoutine.cs
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
před 1 rokem |
|
EfemPlaceRoutine.cs
|
96661cadab
修复efem place ，tm同时有lp1与lp2 wafer时return wafer报错bug
|
před 1 rokem |
|
EfemSwapRoutine.cs
|
e61f018b66
Manual Return wafer while running cycle.
|
před 1 rokem |
lixiang
d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对