| .. |
|
Attributes
|
87f1121180
1.Recipe UI 界面Name优化
|
před 1 rokem |
|
Properties
|
8582fd7e94
Venus初始版本提交
|
před 2 roky |
|
Chamber.cs
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
před 1 rokem |
|
ChamberInfo.cs
|
65d80057c2
ui优化
|
před 9 měsíci |
|
ConfigType.cs
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
před 1 rokem |
|
ConvertPressureUnit.cs
|
9163903164
Kepler2200优化
|
před 11 měsíci |
|
CoolingInfo.cs
|
5ce110574e
1，添加cooling功能
|
před 10 měsíci |
|
DataName.cs
|
a98efc8a0b
1.修改kepler2300 FDC 运行报错bug
|
před 1 rokem |
|
DeviceName.cs
|
a98efc8a0b
1.修改kepler2300 FDC 运行报错bug
|
před 1 rokem |
|
EventDefine.cs
|
a1cec725e5
修复TM Vent 配置文件报错bug
|
před 9 měsíci |
|
FADefine.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
před 2 roky |
|
GlobalEvents.cs
|
65d80057c2
ui优化
|
před 9 měsíci |
|
HighTemperatureHeaterPosition.cs
|
ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
|
před 1 rokem |
|
InvokeName.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
před 2 roky |
|
Kepler2300Device.cs
|
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
|
před 1 rokem |
|
MFCCalibrationData.cs
|
3a078d515d
1.修复ui灯闪烁错误bug
|
před 1 rokem |
|
ModuleName.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
před 2 roky |
|
NiceRobotAction.cs
|
8d613c7d1f
奈思UI 新版动画
|
před 11 měsíci |
|
PMLeakCheckResult.cs
|
ee26035034
1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData
|
před 1 rokem |
|
PartialPressureResult.cs
|
796541e5a6
现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能
|
před 2 roky |
|
PressureType.cs
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
před 1 rokem |
|
ProcessUnitDefine.cs
|
33d0cd73dd
1.修复Pump Counter 显示错误bug
|
před 8 měsíci |
|
Recipe.cs
|
1c2b8b53bb
1.添加用户权限功能
|
před 8 měsíci |
|
RecipeResult.cs
|
2136e3b838
1.分开kepler与Venus 漏气检测ui，删除多余代码
|
před 10 měsíci |
|
RobotArmPan.cs
|
b2e38c8ff3
Add unuploaded files
|
před 1 rokem |
|
RtState.cs
|
7a07ffa5ca
1. add SignalTower for Venus System by VenusSignalTower.xml
|
před 10 měsíci |
|
SCValue.cs
|
3cad102221
更新 RT
|
před 2 roky |
|
SerializeHelper.cs
|
17c3d36a2b
Sequence 界面 PM REcipe 支持选择 Pre Clean/Post Clean/WTW Clean 和 Process Recipe
|
před 8 měsíci |
|
SignalTowerItem.cs
|
b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
|
před 1 rokem |
|
StepItem.cs
|
edb5ad6960
1.添加数据分析 Recipe step功能
|
před 1 rokem |
|
SubItem.cs
|
bb33e89998
1，优化UI界面
|
před 2 roky |
|
TM.cs
|
dfc9174ac8
VenusSE TM PM Simulator Update
|
před 1 rokem |
|
UserRole.cs
|
1c2b8b53bb
1.添加用户权限功能
|
před 8 měsíci |
|
VATPerformanceResult.cs
|
796541e5a6
现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能
|
před 2 roky |
|
ValveType.cs
|
3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
|
před 10 měsíci |
|
VenusDevice.cs
|
3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
|
před 10 měsíci |
|
VenusMenu.cs
|
0f905564d0
加入登录界面和权限管理
|
před 1 rokem |
|
Venus_Core.csproj
|
1c2b8b53bb
1.添加用户权限功能
|
před 8 měsíci |
|
VirgoDevice.cs
|
9760d40cf7
port simulator
|
před 2 roky |
lixiang
17c3d36a2b
Sequence 界面 PM REcipe 支持选择 Pre Clean/Post Clean/WTW Clean 和 Process Recipe