zhouhr dd99f38e54 change the system by configtype in App.config in RT,Simulator && change the temp by chillertype in VenusDE 10 달 전
..
EventDefine.cs a5245356d0 source files 2 년 전
Fdc.cs d33079596b 1.优化新版跑片动画 1 년 전
GasBoxLeakCheckRoutine.cs d95b8c7876 cancel Open PVN22 in SE,DE && add VenusVentRoutine && fix the bug in GasBoxLeakCheck && Change Logic in pumpdown&Vent in SE,DE 1 년 전
GasFlowRoutine.cs c332b95d39 venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function 1 년 전
LLPickRoutine.cs ecd991d2f4 1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug 11 달 전
LLPlaceRoutine.cs ecd991d2f4 1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug 11 달 전
LoadLockLeakCheckRoutine.cs ecd991d2f4 1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug 11 달 전
LoadLockPumpRoutine.cs ecd991d2f4 1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug 11 달 전
LoadLockPurgeRoutine.cs ecd991d2f4 1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug 11 달 전
LoadLockVentRoutine.cs ecd991d2f4 1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug 11 달 전
PMEntity.cs 4b1a37ee73 fix bugs 10 달 전
PMGasVerificationRoutine.cs e2836bfbda 1.Chamber DE process enhance 11 달 전
PMGaslinePurgeRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. 1 년 전
PMHeatRoutine.cs c8af7de363 将kepler与Venus UI配置分开,添加Heat Routine 1 년 전
PMHomeRoutine.cs 3fb3984bd3 1.添加 Heater 伺服到位信号,手臂进腔前check 10 달 전
PMLeakCheckRoutine.cs 9de8ce9b11 Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update 1 년 전
PMPartialPressureRoutine.cs 945ce3c74c 1.Venus SE DE Add PressureControl 1 년 전
PMProcessRoutine.cs 3fb3984bd3 1.添加 Heater 伺服到位信号,手臂进腔前check 10 달 전
PMProcess_FA.cs 774c804aa9 fixed pm event occurs carrierid is null 1 년 전
PMPurgeRoutine.cs 9de8ce9b11 Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update 1 년 전
PMRoutineBase.cs 945ce3c74c 1.Venus SE DE Add PressureControl 1 년 전
PMVATPerformanceRoutine.cs 945ce3c74c 1.Venus SE DE Add PressureControl 1 년 전
Process.cs 3cad102221 更新 RT 2 년 전
ProcessDefine.cs 3fb3984bd3 1.添加 Heater 伺服到位信号,手臂进腔前check 10 달 전
PumpDownRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 11 달 전
RFPowerSwitchRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. 1 년 전
StartDryPumpRoutine.cs 03063bae6a Enhance the routine framework. 1 년 전
StartTurboPumpRoutine.cs 9de8ce9b11 Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update 1 년 전
VentRoutine.cs a4f8a29122 1.Kepler2200 Gas 改造,六路变八路 11 달 전
VenusRecipeFileContext.cs 7d93bf0076 Job Clean function, not finished. 1 년 전
VenusSequenceFileContext.cs dd99f38e54 change the system by configtype in App.config in RT,Simulator && change the temp by chillertype in VenusDE 10 달 전
VenusVentRoutine.cs 0a2d5ac547 Venus DE TM simulator add 1 년 전
VirgoRecipeFileContext.cs 896c7407de 优化log功能 2 년 전
VirgoSequenceFileContext.cs 896c7407de 优化log功能 2 년 전