| .. |
|
IoBacksideHe.cs
|
c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
|
hace 1 año |
|
IoCylinder.cs
|
608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行
|
hace 11 meses |
|
IoGasStick.cs
|
a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
|
hace 11 meses |
|
IoHeartbeat.cs
|
9faf7dc26a
拉取代码软件报警，去除默认Aligner1
|
hace 11 meses |
|
IoHeater.cs
|
552d60ca99
1.Stable与Tolerance 功能优化
|
hace 1 año |
|
IoHighTemperatureHeater.cs
|
3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
|
hace 11 meses |
|
IoHongHuControl.cs
|
0bea20360b
add LeakCheckRoutine in DE,VCE && add online for TM,VCE && fix bug in PM-PartialPressure && add LP in VCE && add sensor in VCE from TM
|
hace 11 meses |
|
IoLid.cs
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
hace 1 año |
|
IoMagnet.cs
|
e2836bfbda
1.Chamber DE process enhance
|
hace 11 meses |
|
IoMfc.cs
|
3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
|
hace 11 meses |
|
IoPressureControl.cs
|
3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
|
hace 11 meses |
|
IoPressureMeter.cs
|
9163903164
Kepler2200优化
|
hace 11 meses |
|
IoSignalLight.cs
|
af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
|
hace 2 años |
|
IoSignalTower.cs
|
f211c4242f
Efem module raw design.
|
hace 1 año |
|
IoSwitch.cs
|
8f80478982
1.添加IoSwitch
|
hace 1 año |
|
IoTMPressureCtl.cs
|
3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
|
hace 1 año |
|
IoTMSEPressureCtl.cs
|
31bbc4482b
update ui && rt && simu for Venus SE
|
hace 1 año |
lixiang
3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check