lixiang 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 1 år sedan
..
Attributes 87f1121180 1.Recipe UI 界面Name优化 1 år sedan
Properties 8582fd7e94 Venus初始版本提交 2 år sedan
Chamber.cs 6bbe2e529b 1.删除或注释 Venus ChamberType 1 år sedan
ConfigType.cs 6bbe2e529b 1.删除或注释 Venus ChamberType 1 år sedan
ConvertPressureUnit.cs bdcf0556c9 1.将kepler2200与其它项目配置文件分开 1 år sedan
DataName.cs 3cad102221 更新 RT 2 år sedan
DeviceName.cs 9e14bbee6a 1.由于PM种类变多,且分配置,PM 加载device 功能重写 1 år sedan
EventDefine.cs 52349cad2b Duplicated wafer functions. 1 år sedan
FADefine.cs 3cad102221 更新 RT 2 år sedan
GlobalEvents.cs ba61077913 增加拖片功能 1 år sedan
HighTemperatureHeaterPosition.cs ee26035034 1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData 1 år sedan
InvokeName.cs 3cad102221 更新 RT 2 år sedan
Kepler2300Device.cs a5813eb09d 1.修改chamber wafer样式 1 år sedan
MFCCalibrationData.cs 3a078d515d 1.修复ui灯闪烁错误bug 1 år sedan
ModuleName.cs 3cad102221 更新 RT 2 år sedan
PMLeakCheckResult.cs ee26035034 1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData 1 år sedan
PartialPressureResult.cs 796541e5a6 现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能 1 år sedan
PressureType.cs 68b4ba9640 1.添加mtorr与Pa切换功能 1 år sedan
ProcessUnitDefine.cs 01dafac8f1 1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能 1 år sedan
Recipe.cs b3a13fc6c7 1.IoMagnet device Logical supplement 1 år sedan
RecipeResult.cs bcc9d2faf8 1、Chamber add the waferID 1 år sedan
RobotArmPan.cs b2e38c8ff3 Add unuploaded files 1 år sedan
RtState.cs 9d9b666ea4 Venus SE Update 1 år sedan
SCValue.cs 3cad102221 更新 RT 2 år sedan
SerializeHelper.cs 8d21b41b42 AutoCycle enhancement. 1 år sedan
SignalTowerItem.cs b2406d6f78 1.添加signalTonwer ui界面 1 år sedan
StepItem.cs edb5ad6960 1.添加数据分析 Recipe step功能 1 år sedan
SubItem.cs bb33e89998 1,优化UI界面 2 år sedan
TM.cs dfc9174ac8 VenusSE TM PM Simulator Update 1 år sedan
VATPerformanceResult.cs 796541e5a6 现场测试修改MFC Calibration/LeakCheck/VATPerformance功能 1 år sedan
ValveType.cs 136a0d3727 Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve. 1 år sedan
VenusDevice.cs 2ffdf6e535 1Venus DE LinerDoor update 1 år sedan
VenusMenu.cs 0f905564d0 加入登录界面和权限管理 1 år sedan
Venus_Core.csproj 7e15cb64a0 1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能 1 år sedan
VirgoDevice.cs 9760d40cf7 port simulator 2 år sedan