 lixiang
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031a4236bf
1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警
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1 月之前 |
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lixiang
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a9d8e56970
1.扩展alarm list
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7 月之前 |
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lixiang
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ced69ea3b9
新版本Recioeview界面开发
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9 月之前 |
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lixiang
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401ccfc861
1.修复TM控压不稳bug，LL Vent未计时关闭原因
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9 月之前 |
 hecl
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9de8ce9b11
Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update
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1 年之前 |
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lixiang
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bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
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1 年之前 |
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lixiang
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c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新）
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1 年之前 |
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lixiang
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c457973fa2
1.添加Revtech Match
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1 年之前 |
 sangwq
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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1 年之前 |
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lixiang
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b5616b7378
解决冲突，合并代码
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1 年之前 |
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sangwq
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6a29fad5f9
update for unload/PMleakcheck bugs
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1 年之前 |
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lixiang
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a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
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1 年之前 |
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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1 年之前 |
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lixiang
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2d424f4cab
优化漏气检测算法，给TM界面添加 1.删除/添加wafer 2.PM/LL自动隐藏功能
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1 年之前 |
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lixiang
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280432bb82
1.TM传片动画制作，UI界面优化
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1 年之前 |
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sangwq
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847220c6ce
update for initial recipe design
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2 年之前 |
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sangwq
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8565810192
Servo Pressure and Gas Flow done.
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2 年之前 |
