 lixiang
|
031a4236bf
1.添加TMP Water Flow与Lid Water Flow 报警
|
2 kuukautta sitten |
|
lixiang
|
a9d8e56970
1.扩展alarm list
|
7 kuukautta sitten |
|
lixiang
|
ced69ea3b9
新版本Recioeview界面开发
|
9 kuukautta sitten |
|
lixiang
|
401ccfc861
1.修复TM控压不稳bug，LL Vent未计时关闭原因
|
9 kuukautta sitten |
 hecl
|
9de8ce9b11
Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新）
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
c457973fa2
1.添加Revtech Match
|
1 vuosi sitten |
 sangwq
|
03063bae6a
Enhance the routine framework.
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
b5616b7378
解决冲突，合并代码
|
1 vuosi sitten |
|
sangwq
|
6a29fad5f9
update for unload/PMleakcheck bugs
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
2d424f4cab
优化漏气检测算法，给TM界面添加 1.删除/添加wafer 2.PM/LL自动隐藏功能
|
1 vuosi sitten |
|
lixiang
|
280432bb82
1.TM传片动画制作，UI界面优化
|
1 vuosi sitten |
|
sangwq
|
847220c6ce
update for initial recipe design
|
2 vuotta sitten |
|
sangwq
|
8565810192
Servo Pressure and Gas Flow done.
|
2 vuotta sitten |
