 lixiang
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6447434c5b
Venus代码删除
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3 달 전 |
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lixiang
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9fdde379d4
cooling加条件限制
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9 달 전 |
 kuangzl
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eaf2ce039b
Added PMChamberLabel display for VenusDE and VenusSE.
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9 달 전 |
 zhouhr
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afa8662437
Changed from VPA to Aligner1 && Removed PreClean, PostClean in SequenceInfo
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9 달 전 |
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lixiang
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9faf7dc26a
拉取代码软件报警，去除默认Aligner1
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10 달 전 |
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zhouhr
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632f566bc6
fix bug in SEMFSwapRoutine
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10 달 전 |
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lixiang
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608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行
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10 달 전 |
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lixiang
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3e00375ce8
1.FDC代码逻辑移到PricessDefine
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11 달 전 |
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lixiang
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a98efc8a0b
1.修改kepler2300 FDC 运行报错bug
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11 달 전 |
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lixiang
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e00ff4f30d
1.高温Heater position1-position5加上动画
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11 달 전 |
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zhouhr
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12fa756895
1. SETM will be Init while While SETM Abort Homing
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11 달 전 |
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lixiang
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52e8bd8f7a
1.优化Home断开重连
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11 달 전 |
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lixiang
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01dafac8f1
1.Kepler2200 添加Home 设备断开重连功能
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11 달 전 |
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lixiang
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4634f3f91a
1。设置log最大500M，超出分文件（解决文件太大，log打不开）
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1 년 전 |
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lixiang
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f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
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1 년 전 |
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lixiang
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166a9ab00e
VenusSE UI 打不开bug，配置文件确实Name
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1 년 전 |
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lixiang
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7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
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1 년 전 |
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lixiang
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87f1121180
1.Recipe UI 界面Name优化
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1 년 전 |
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lixiang
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6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
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1 년 전 |
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lixiang
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8b6a73425d
添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度
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1 년 전 |
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lixiang
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0f0650b80f
1.PM 界面 run recipe 变为手动模式
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1 년 전 |
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lixiang
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f62e761ad2
修复小标题efem online/offline报警bug
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1 년 전 |
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lixiang
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c8af7de363
将kepler与Venus UI配置分开，添加Heat Routine
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1 년 전 |
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lixiang
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0f905564d0
加入登录界面和权限管理
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1 년 전 |
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lixiang
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17793fef54
kepler2300 PM界面添加Include/Exclude功能
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1 년 전 |
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lixiang
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9e14bbee6a
1.由于PM种类变多，且分配置，PM 加载device 功能重写
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1 년 전 |
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lixiang
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f09d7d1b15
分开所有系列配置文件
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1 년 전 |
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lixiang
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e818b037a2
1.修复TM Swap 不能开门/状态比对不过bug
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1 년 전 |
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lixiang
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1929a3510b
1.新版ui界面开发
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1 년 전 |
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lixiang
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7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
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1 년 전 |
