 lixiang
|
3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
2136e3b838
1.分开kepler与Venus 漏气检测ui，删除多余代码
|
преди 1 година |
 hecl
|
c1ae6b6ea1
1.Fix Chamber DE recipe process bugs
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
464c53cd94
1.Datalog添加高温Haeter开关显示
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
c671c999c0
ui界面优化
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
d33079596b
1.优化新版跑片动画
|
преди 1 година |
|
hecl
|
996eacc709
VenusDE recipe tolerance enhance
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
3e00375ce8
1.FDC代码逻辑移到PricessDefine
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
07b8ea7e19
让fdc只支持Process Type
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
a98efc8a0b
1.修改kepler2300 FDC 运行报错bug
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
17ae6db63c
kepler2200/Kepler2300 添加FDC 功能
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
4634f3f91a
1。设置log最大500M，超出分文件（解决文件太大，log打不开）
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
d35b997884
1.优化RevtechMatch状态机
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
8b6a73425d
添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度
|
преди 1 година |
 chenkui
|
563a30f852
1、add recipe event notify;
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对
|
преди 1 година |
|
hecl
|
945ce3c74c
1.Venus SE DE Add PressureControl
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
преди 1 година |
|
hecl
|
db7e4fc9d5
PMProcessRoutine naming conventions & Lot id record adjustment
|
преди 1 година |
|
hecl
|
2aa8eecc79
Enhancement of PMProcessRoutine recipe processing flow
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
fd2d6f9a5c
解决冲突
|
преди 1 година |
|
hecl
|
091efd8f64
1.enhance PMdataRecord about waferstatus update
|
преди 1 година |
|
hecl
|
eb71335c9e
1.VenusDE UI Viewmodel update and fix pipelines switch bugs
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
15742217b9
添加工艺结束流气与关GasFinal阀中间添加1s延时
|
преди 1 година |
