Commit History

Автор SHA1 Съобщение Дата
  sangwq e1226fdd9e update for disable difference pressure checking under atm mode according electrical team request. преди 2 години
  lixiang b6c2517c51 1.添加加热功能 преди 2 години
  lixiang 60d08c1285 1.ui与rt联动功能添加 преди 2 години
  lixiang bad994820a 添加PM与部分loadlock与rt交互功能 преди 2 години
  sangwq 4e8a55f733 Endpoint Module. преди 2 години
  lixiang da4e6f6a4e Recipe功能完善 преди 2 години
  sangwq 847220c6ce update for initial recipe design преди 2 години
  sangwq 8565810192 Servo Pressure and Gas Flow done. преди 2 години
  sangwq af96d139ff 2022年11月24日 提交 RT 部分更改 преди 2 години
  sangwq 8f2e8686aa VenusDevice.cs преди 3 години