 lixiang
|
feed6f1c8e
修复手动流气bug
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
fdb9fa780e
修复PM界面钟摆阀与加热可以打开多个窗体的bug
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
818383115c
UI优化
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
41d50f69e3
1.钟摆阀关闭，加入压力和位置自动设0功能
|
před 1 rokem |
 sangwq
|
ec1db1df03
Enhance the Clean/Cycle routine algorithm.
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
ac251b02cc
1.主界面添加LLA/LLB ATM/VAV显示
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
9e1de0e343
1.run recipe 参数bool改recipetype
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
7a6912dc9c
添加cleanrecipe界面
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
f53a5428e6
1.将rt向ui传递robot状态放在线程安全队列，避免数据包丢失
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
5139f41e19
添加PM Abort 下拉菜单功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
edb5ad6960
1.添加数据分析 Recipe step功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
20cc441578
1.kepler2200 ui优化
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
3f6c65223f
1.删除部分不需要插入数据库数据
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
ad6fa7b5dc
1.添加chamber界面创建wafer，开关门功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
cdf41d68fe
1.优化数据库实时数据插入功能，恢复数据查询/实时数据查看等功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
379fe79c7b
1.根据tps sequence修改tm/ll vent/pump等功能
|
před 1 rokem |
 Intern01
|
987f0abae5
1.Slove TuroN2Flow don't show problem
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
9c46c55950
解决冲突
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
|
před 1 rokem |
 zhouhr
|
bcc9d2faf8
1、Chamber add the waferID
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
708d655cae
1.将Kepler/Venus DeviceModel里面的ProcessGauge与PressureGauge重新定义
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
296cd4b8a4
1、recipe页面chuck、dechuck选项名称缩略并设置最大最小长度
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
cb91599d02
修复recipe Ui信息显示
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
a8582aeee2
修复配置文件不能修改bug
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
před 1 rokem |
