 lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
15742217b9
添加工艺结束流气与关GasFinal阀中间添加1s延时
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
f8026cadbc
控压结束动作bug修复
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
967f6b6b9c
添加控压结束，保持一秒流气功能
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
818383115c
UI优化
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
e511d1f387
1.添加PM控压功能
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
c48ba3a928
添加初版kepler2200A Pick/Place功能（PLC点位未跟新）
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
a2426eb90b
Recipe 添加bias step ramp设值功能
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
b1e6a9ce63
bug提交
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
649ac00032
添加rfmatch/biasrfmatch自动计算c1/c2功能
|
пре 2 година |
 sangwq
|
271930f900
minor change.
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
cdf41d68fe
1.优化数据库实时数据插入功能，恢复数据查询/实时数据查看等功能
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
379fe79c7b
1.根据tps sequence修改tm/ll vent/pump等功能
|
пре 2 година |
|
sangwq
|
3f1379ff57
Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/Venus
|
пре 2 година |
|
sangwq
|
d49b8f65dd
fix the RouteManager instance initialize bug.
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
1d854ff197
添加Lid Servo CTRL Mode控制lid是否可以开关
|
пре 2 година |
|
sangwq
|
69eff33372
Force System Restart after change IsATM mode configuration item and add abort process.
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
124b11b9f3
1.kepler2300 添加三个chiller功能（模拟器功能暂无）
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
708d655cae
1.将Kepler/Venus DeviceModel里面的ProcessGauge与PressureGauge重新定义
|
пре 2 година |
|
sangwq
|
344d734fff
ATM Transfer.
|
пре 2 година |
|
sangwq
|
7b98756c26
兼容新旧 Endpoint, 未完成
|
пре 2 година |
|
sangwq
|
aaf8372896
兼容 两种 endpoint, 未完成
|
пре 2 година |
|
lixiang
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
пре 2 година |
