 lixiang
|
87f1121180
1.Recipe UI 界面Name优化
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
 hecl
|
c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
f62e761ad2
修复小标题efem online/offline报警bug
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
2cbab729fb
添加小标题 home/online/offineInclude/Exclude功能
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
1929a3510b
1.新版ui界面开发
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
feed6f1c8e
修复手动流气bug
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
6f2b23125b
再次提交解决Tolerance bug
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
8cea3a0063
修复流气tolerance bug
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
e2cd173579
1.添加Kepler2200 流气 Tolerance
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
f8c50b602a
修复Tolerance对流气不开阀的bug
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
818383115c
UI优化
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
 zhouhr
|
3e18a3a534
Add compatibility for VenusSE in Process,GasFlowRoutine && add More Gas define in config for VenusSE PM && fix bug in IoDefine
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
e511d1f387
1.添加PM控压功能
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
1 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
ab095ba2a8
修复钟摆阀状态错误bug
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
894ff76d5e
online/offline tobview状态颜色变化
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
a2426eb90b
Recipe 添加bias step ramp设值功能
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
0af54acc48
Recipe 每个模块做成ui可配，设计clean recipe模块，Kepler2200 模拟器recipe工艺测试
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
5139f41e19
添加PM Abort 下拉菜单功能
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
edb5ad6960
1.添加数据分析 Recipe step功能
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
649ac00032
添加rfmatch/biasrfmatch自动计算c1/c2功能
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
20cc441578
1.kepler2200 ui优化
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
3f6c65223f
1.删除部分不需要插入数据库数据
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
|
lixiang
|
ad6fa7b5dc
1.添加chamber界面创建wafer，开关门功能
|
2 éve%!(EXTRA string=óta) |
