 sangwq
|
241a8a2f5d
UPDATE 20230324
|
2 år sedan |
|
sangwq
|
e1226fdd9e
update for disable difference pressure checking under atm mode according electrical team request.
|
2 år sedan |
 lixiang
|
b6c2517c51
1.添加加热功能
|
2 år sedan |
|
lixiang
|
60d08c1285
1.ui与rt联动功能添加
|
2 år sedan |
|
lixiang
|
bad994820a
添加PM与部分loadlock与rt交互功能
|
2 år sedan |
|
sangwq
|
4e8a55f733
Endpoint Module.
|
2 år sedan |
|
lixiang
|
da4e6f6a4e
Recipe功能完善
|
2 år sedan |
|
sangwq
|
847220c6ce
update for initial recipe design
|
2 år sedan |
|
sangwq
|
8565810192
Servo Pressure and Gas Flow done.
|
2 år sedan |
|
sangwq
|
af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
|
2 år sedan |
|
sangwq
|
8f2e8686aa
VenusDevice.cs
|
2 år sedan |
