 lixiang
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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1 년 전 |
 chenkui
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31a961b749
update Secs-I dlls
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1 년 전 |
 hecl
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d18b2c8e6a
Add VenusDE PM UI, Viewmodel, Simulator
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1 년 전 |
 zhouhr
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7fec2e1d8e
Enhance LOG Module && fix bug in SE UI.
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1 년 전 |
 sangwq
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02efc78270
fix the WTWClean bug while PM Swap wafer.
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1 년 전 |
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sangwq
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dbb753dd44
Pause functionality.
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1 년 전 |
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zhouhr
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49815fb19f
add VCE Module in UI && fix bug in SE Cycle
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1 년 전 |
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chenkui
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0baedd2eb3
更新了Secs-I QueryAllSvids返回SmifData变量
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1 년 전 |
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chenkui
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3356cc0e74
增加了Secs-I的类库
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1 년 전 |
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sangwq
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a80b5af3fd
enhance manual return wafer algorithm.
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1 년 전 |
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zhouhr
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0728fdc25a
Add Abort while SE Cycle, ReturnWafer, manual transfer && fix bug in SETM simulator && update UI in SE Operation,TM View
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1 년 전 |
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lixiang
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818383115c
UI优化
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1 년 전 |
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zhouhr
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3e18a3a534
Add compatibility for VenusSE in Process,GasFlowRoutine && add More Gas define in config for VenusSE PM && fix bug in IoDefine
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1 년 전 |
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zhouhr
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cf4cf64edc
Optimize SEView.
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1 년 전 |
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hecl
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1b4faf274b
Improve VenusSE pm viewmodel and vent function
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1 년 전 |
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zhouhr
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904ca94945
fix bug in VenusSE PM valve.
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1 년 전 |
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zhouhr
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e8e04e07b5
Change cast way by Enum Name for SEPMView.
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1 년 전 |
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lixiang
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c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
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1 년 전 |
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zhouhr
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bcbe6b2cbe
fix bug in PM SlitDoorClosed
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1 년 전 |
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zhouhr
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24f1f52056
fix bug in SE PM SetSlitDoor && add deal with SE PM Home
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1 년 전 |
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zhouhr
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36cc58e22c
fix bug in Venus SE PM in UI,RT,Simulator
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1 년 전 |
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sangwq
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ec2f97e62d
enhance log.
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1 년 전 |
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zhouhr
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03aefe84d8
enhance configitem search
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1 년 전 |
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zhouhr
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a5ba0d3c6b
add Process in PMChamber for SEOpertaion
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1 년 전 |
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zhouhr
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26a6aa8f41
fix bug in SE Swap && SE Cycle
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1 년 전 |
 intern02
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dc8303196b
Added config search function, updated SystemConfigView.xmal and SystemConfigViewModel.cs .
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1 년 전 |
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zhouhr
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f5a709d29f
enhance ReturnWafer for VenusSE && fix bugs in VCE Routine, HongHuTM
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1 년 전 |
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hecl
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b277487716
1.Venuse PM Viewmodel update
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1 년 전 |
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zhouhr
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724b0ca304
add ReturnWafer for Venus SE.
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1 년 전 |
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sangwq
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6ac9eafd1d
FIX minor bug for log.
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1 년 전 |
