 lixiang
|
1931fc55d3
1.根据长鑫要求Process Hietory界面添加eap提供的wafeid与lottype信息
|
před 8 měsíci |
|
lixiang
|
add331513f
1.WaferHistory与ProcessHistory 添加 Carrier ID，Process History 切recipe 保留原查询信息
|
před 9 měsíci |
|
lixiang
|
10c22069fe
1.添加EFEM光栅报警开关
|
před 9 měsíci |
|
lixiang
|
a38cb6d743
1.Revtech Match 通讯时间100ms改为300ms
|
před 10 měsíci |
|
lixiang
|
7556c43a4c
1.Gas漏气检测结束ui界面不更新bug修复
|
před 10 měsíci |
|
lixiang
|
8e660cd7a8
1.去除carrierid ;字符
|
před 11 měsíci |
 sangwq
|
7a1faeac74
Redesign the EFEM module for thread safe issue.
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
a98efc8a0b
1.修改kepler2300 FDC 运行报错bug
|
před 1 rokem |
|
sangwq
|
4f7a01400f
fix the sync issue for efem socket.
|
před 1 rokem |
|
sangwq
|
cc43a1d632
enhance the EFEM driver.
|
před 1 rokem |
|
sangwq
|
7862a9be38
solve the sync problem while set signal tower light.
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
75dbbd4da8
添加KeplerSignaltower功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
e00ff4f30d
1.高温Heater position1-position5加上动画
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
cfed419b0a
解决ValueTuple版本冲突
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
f53a5428e6
1.将rt向ui传递robot状态放在线程安全队列，避免数据包丢失
|
před 1 rokem |
 zhouhr
|
5a02e70af1
fix jetefem bug
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
d396d70f90
fix JetEfem bug
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
1c44773767
Add missing files
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
1e7c808d19
add VenusSE tm related module in ui rt simulator && fix efem backround bug
|
před 1 rokem |
|
sangwq
|
052baa3ed3
fix the clear error command confirm sequence problem and PM pressure bug.
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
4c7076a950
change FSM when EFEM receives the error message
|
před 1 rokem |
|
zhouhr
|
038e0b984a
1.Add LL pump preemptive lock
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
00d42e8c17
efem动画优化
|
před 1 rokem |
|
lixiang
|
5888197193
1.efem 添加 foup load/unload动画
|
před 1 rokem |
 Intern01
|
261ef38430
solve errors in TMRobot Action&& update Serial ports in simulator
|
před 1 rokem |
|
sangwq
|
c223835b1e
enhance AutoCycle module.
|
před 1 rokem |
|
Intern01
|
aaff066e93
EFEM Align UI RT 更新
|
před 2 roky |
|
lixiang
|
4ffafb6001
EFEM界面优化
|
před 2 roky |
