 lixiang
|
28b8f5e03a
根据最新的TM sequence修改代码，修改DO-04功能为Vent Valve TM
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
b96ac701fb
1.添加TM Simulator
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM，更新界面及rt
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
4ffafb6001
EFEM界面优化
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
be22c5112d
TM 添加两个pump 串口23/24/25/26
|
1 år sedan |
|
lixiang
|
8f80478982
1.添加IoSwitch
|
2 år sedan |
 sangwq
|
f211c4242f
Efem module raw design.
|
2 år sedan |
|
sangwq
|
bdee4a05ba
TM Robot Pick/Place/Swap simulation ready.
|
2 år sedan |
|
sangwq
|
241a8a2f5d
UPDATE 20230324
|
2 år sedan |
|
sangwq
|
e1226fdd9e
update for disable difference pressure checking under atm mode according electrical team request.
|
2 år sedan |
|
sangwq
|
5b037046f9
Add TM/LL modules.
|
2 år sedan |
