 lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 рік тому |
 hecl
|
db7e4fc9d5
PMProcessRoutine naming conventions & Lot id record adjustment
|
1 рік тому |
|
hecl
|
2aa8eecc79
Enhancement of PMProcessRoutine recipe processing flow
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
fd2d6f9a5c
解决冲突
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
|
1 рік тому |
|
hecl
|
fa67219b9f
1.Add automatically update database column codes
|
1 рік тому |
|
hecl
|
56d9a355a8
Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/Venus
|
1 рік тому |
|
hecl
|
091efd8f64
1.enhance PMdataRecord about waferstatus update
|
1 рік тому |
 zhouhr
|
8436daeb68
Eliminate SE generation warning.
|
1 рік тому |
|
hecl
|
eb71335c9e
1.VenusDE UI Viewmodel update and fix pipelines switch bugs
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
57607fb800
add IsHome =>false when error happened in driver of HongHu Robot && Change storage unit from GB to MB in ResourceMonitor
|
1 рік тому |
 sangwq
|
4259958c23
Remove the Align angle definition in sequence and implement the Loadlock delay function.
|
1 рік тому |
|
hecl
|
e2c4a51efe
1.Add VenusDE JetVenusDEPM control
|
1 рік тому |
|
sangwq
|
b71003a42d
Fix the increasing aligner angle out of range bug.
|
1 рік тому |
|
sangwq
|
c5ba2fb197
Transfer align angel from sequence to system configure and enable angle increasement by wafer.
|
1 рік тому |
|
zhouhr
|
e187642592
commit Venus SE TM IO and DeviceModel&& PM view.
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
020e8459ea
移除kepler2200A与Kepler2200B RT Device中的chiller
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
fdb9fa780e
修复PM界面钟摆阀与加热可以打开多个窗体的bug
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
d8b75084d0
添加RT UI 模块选择功能
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
34bdc228de
Datalog添加高温Heater温度显示
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
15742217b9
添加工艺结束流气与关GasFinal阀中间添加1s延时
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
f8026cadbc
控压结束动作bug修复
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
967f6b6b9c
添加控压结束，保持一秒流气功能
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
022b366a65
分页功能bug修复
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
665bb2ee1d
域名测试
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
08e85396fc
1.添加eventview分页功能
|
1 рік тому |
|
sangwq
|
6745f225c7
enhance the throughput calculation.
|
1 рік тому |
|
lixiang
|
ed84923822
OverView界面Abort绑定System.IsBusy
|
1 рік тому |
 intern02
|
a4752168de
Merge branch 'master' of http://git.jetplasma-oa.com/JetPlasma/Venus
|
1 рік тому |
|
intern02
|
879532d9c9
Upload loss file.
|
1 рік тому |
