 zhouhr
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b6309f712c
upload for Venus SE/DE
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hace 5 meses |
 lixiang
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ced69ea3b9
新版本Recioeview界面开发
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hace 9 meses |
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lixiang
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5ce110574e
1，添加cooling功能
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hace 9 meses |
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lixiang
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a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
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hace 10 meses |
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lixiang
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608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行
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hace 10 meses |
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lixiang
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d33079596b
1.优化新版跑片动画
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hace 11 meses |
 hecl
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996eacc709
VenusDE recipe tolerance enhance
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hace 11 meses |
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zhouhr
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d95b8c7876
cancel Open PVN22 in SE,DE && add VenusVentRoutine && fix the bug in GasBoxLeakCheck && Change Logic in pumpdown&Vent in SE,DE
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hace 11 meses |
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zhouhr
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28a7e74cc0
Let PVN22 open before PumpDown start in SE&DE.
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hace 11 meses |
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zhouhr
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a0f20d03ac
add ChillerCheck and Interval to 1s && SE DE Chamber can operate TurboPump freely && fix the bug in GasLeakCheck && close PVN22 after PMPumpDown
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hace 11 meses |
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zhouhr
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b0e5581d4e
delete some item in SE Config && add WallChiller in DE && add ConfigItem for pump check ForelinePressure in every chambertype
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hace 11 meses |
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zhouhr
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cc436f1ac6
add DE shareChiller && add check items before PM Pump down.
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hace 11 meses |
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lixiang
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3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
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hace 1 año |
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lixiang
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6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
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hace 1 año |
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lixiang
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0f0650b80f
1.PM 界面 run recipe 变为手动模式
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hace 1 año |
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hecl
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ea59788c5a
Venuse DE routine update &fix config can't hide bugs
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hace 1 año |
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hecl
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9de8ce9b11
Venus SE UI &&Venus DE pump,purge,start turbo routine update
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hace 1 año |
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lixiang
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6d6f659b77
1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa，添加工艺结束，等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能
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hace 1 año |
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lixiang
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bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
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hace 1 año |
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lixiang
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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hace 1 año |
 sangwq
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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hace 1 año |
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lixiang
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cb91599d02
修复recipe Ui信息显示
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hace 1 año |
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lixiang
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a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
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hace 1 año |
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lixiang
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530ddcbae7
优化topview界面
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hace 1 año |
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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hace 1 año |
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lixiang
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a64bed3d6c
1.Run recipe 功能现场修改
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hace 1 año |
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lixiang
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c060fde154
1.Recipe Edit 添加配置功能
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hace 1 año |
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lixiang
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280432bb82
1.TM传片动画制作，UI界面优化
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hace 1 año |
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sangwq
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096c873956
Sequence SPEC update.
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hace 2 años |
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lixiang
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1f1fb71be3
1.2023/02/17现场rt代码修改
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hace 2 años |
