 sangwq
|
7b98756c26
兼容新旧 Endpoint, 未完成
|
преди 1 година |
 lixiang
|
bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
be22c5112d
TM 添加两个pump 串口23/24/25/26
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
072e5d0d01
ui Module TM 名变TMRobot
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
|
преди 1 година |
|
lixiang
|
ec1eeba67c
添加数据分析界面
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
39dd3fa41f
Enable Com debug log.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
2663cfc1d9
Add place/pick delay.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
dff905345f
增加PMB的兼容
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
66557b65bb
TMCycle not finished.
|
преди 1 година |
|
sangwq
|
bdee4a05ba
TM Robot Pick/Place/Swap simulation ready.
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
62f1a16025
1.添加PartialPressure界面
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
241a8a2f5d
UPDATE 20230324
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
5b037046f9
Add TM/LL modules.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
4ae8734407
PendulumValve pressure full range.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
6187ad5b4f
Interlock 优化
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
a268651d10
1.添加configview和部分mfcverificationview
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
c4864f5546
debug gas verification.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
bf48d9b6c5
AIRSYS CHILLER AND GAS VERIFICATION
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
b2c09224e9
代码合并
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
3222fa143a
Process module and Interlock .
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
0606b882bc
process module 1215
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
630c7b7548
Wafer transfer routine done.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
8565810192
Servo Pressure and Gas Flow done.
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
af96d139ff
2022年11月24日 提交 RT 部分更改
|
преди 2 години |
|
lixiang
|
782eafc783
1.添加log配置文件功能
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
9760d40cf7
port simulator
|
преди 2 години |
|
sangwq
|
53e362a33e
update
|
преди 2 години |
