 lixiang
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708d655cae
1.将Kepler/Venus DeviceModel里面的ProcessGauge与PressureGauge重新定义
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hai 1 ano |
 Intern01
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211accc82b
PMD&Simulator update
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hai 1 ano |
 sangwq
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344d734fff
ATM Transfer.
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hai 1 ano |
 zhouhr
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c8ec52ec1e
修复下手臂无法右键的问题
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hai 1 ano |
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zhouhr
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1408b6822f
增加return wafer的Dialog、右键wafer的菜单项return wafer
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hai 1 ano |
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lixiang
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b6acfe2e29
优化TM leak check功能
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hai 1 ano |
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lixiang
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72ac29dac2
1.优化PMC Kepler2200A界面
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hai 1 ano |
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lixiang
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f9a02a739a
添加pmc/kepler2200
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hai 1 ano |
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lixiang
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b96ac701fb
1.添加TM Simulator
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hai 1 ano |
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lixiang
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edcd7c0ba1
1.根据tps最新sequence 优化TM，更新界面及rt
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hai 1 ano |
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lixiang
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4ffafb6001
EFEM界面优化
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hai 1 ano |
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sangwq
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7b98756c26
兼容新旧 Endpoint, 未完成
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hai 1 ano |
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lixiang
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bdec2c0d74
1.修改TM robot模拟器
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hai 1 ano |
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lixiang
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be22c5112d
TM 添加两个pump 串口23/24/25/26
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hai 1 ano |
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lixiang
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a5813eb09d
1.修改chamber wafer样式
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hai 1 ano |
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lixiang
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a4b75ecb2e
1.每个Chamber做成可配，默认PMA Venus，PMB Kepler2300
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hai 1 ano |
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lixiang
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072e5d0d01
ui Module TM 名变TMRobot
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hai 1 ano |
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lixiang
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de406b964e
1.添加EFEM等ui界面
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hai 1 ano |
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lixiang
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ec1eeba67c
添加数据分析界面
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hai 1 ano |
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sangwq
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39dd3fa41f
Enable Com debug log.
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hai 1 ano |
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sangwq
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2663cfc1d9
Add place/pick delay.
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hai 1 ano |
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sangwq
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dff905345f
增加PMB的兼容
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hai 1 ano |
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sangwq
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66557b65bb
TMCycle not finished.
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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bdee4a05ba
TM Robot Pick/Place/Swap simulation ready.
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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lixiang
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62f1a16025
1.添加PartialPressure界面
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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241a8a2f5d
UPDATE 20230324
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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5b037046f9
Add TM/LL modules.
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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4ae8734407
PendulumValve pressure full range.
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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sangwq
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6187ad5b4f
Interlock 优化
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
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lixiang
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a268651d10
1.添加configview和部分mfcverificationview
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%!s(int64=2) %!d(string=hai) anos |
