 zhouhr
|
afa8662437
Changed from VPA to Aligner1 && Removed PreClean, PostClean in SequenceInfo
|
месяцев назад: 10 |
 hecl
|
c1ae6b6ea1
1.Fix Chamber DE recipe process bugs
|
месяцев назад: 11 |
 sangwq
|
75b6c4548e
submit new venus routing algorithm.
|
месяцев назад: 11 |
|
zhouhr
|
13460815b8
add PM ALARM_Notify while PM sensor Alarm && add TMBase for SETM&&DETM && add HongHuDETM For DE && fix some bugs in DETMUI
|
месяцев назад: 11 |
|
hecl
|
b3a13fc6c7
1.IoMagnet device Logical supplement
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
ea68c5c25d
add clean for Venus SE.
|
1 год назад |
|
hecl
|
c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
|
1 год назад |
|
hecl
|
2ffdf6e535
1Venus DE LinerDoor update
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
136a0d3727
Add VCE OpenDoor while Dash Wafer Error && fix bug in SE Cycle && Add PickOffset while Pick From PA && Add Check ATM by Pressure && Add PM ChamberPressure from PendulumValve.
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
9d9b666ea4
Venus SE Update
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
8436daeb68
Eliminate SE generation warning.
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
49815fb19f
add VCE Module in UI && fix bug in SE Cycle
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
0728fdc25a
Add Abort while SE Cycle, ReturnWafer, manual transfer && fix bug in SETM simulator && update UI in SE Operation,TM View
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
26a6aa8f41
fix bug in SE Swap && SE Cycle
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
376ce10782
增加LOG模块中特定eEvent id触发委托函数 && 移除UI中触发PMError && add SE TM Cycle throughput && fix vcedoor not show
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
a83b38ac11
Add SE VCE|TM FsmState in TopView && Fix bug of CycledWafer number in SE Cycle && Add VCE Goto slot in SwapRoutine
|
1 год назад |
|
zhouhr
|
a5542b5c2c
add SETMCycle|SESequence|SE Swap| => UI+RT && Update the Config items' visible by PM.ChamberType, item keyword of "typeflag" and InstalledModule
|
1 год назад |
