 lixiang
|
d938a9e54c
PM/TM swap pick 开门前加压力wait
|
11 달 전 |
|
lixiang
|
608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行
|
11 달 전 |
|
lixiang
|
d33079596b
1.优化新版跑片动画
|
11 달 전 |
|
lixiang
|
68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
|
1 년 전 |
|
lixiang
|
33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
|
1 년 전 |
|
lixiang
|
4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
|
1 년 전 |
|
lixiang
|
c0ff9f251e
1.添加kepler2200B
|
1 년 전 |
|
lixiang
|
6d7ee9b8a3
1.根据新版kepler2200A IO跟新kepler2200A PM功能
|
1 년 전 |
|
lixiang
|
5f00a42d13
kepler2200A 添加 IOHighTemperatureHeater驱动，并添加模拟器与UI界面功能
|
1 년 전 |
 Intern01
|
b7129c8da5
PM&Simulator update
|
1 년 전 |
|
lixiang
|
f9a02a739a
添加pmc/kepler2200
|
1 년 전 |
