Историја ревизија

Аутор SHA1 Порука Датум
  sangwq 5469baaa63 Parallel cycle mode пре 10 месеци
  zhouhr 7a07ffa5ca 1. add SignalTower for Venus System by VenusSignalTower.xml пре 10 месеци
  lixiang 465f0690e7 Cooling功能bug修复 пре 10 месеци
  lixiang 9fdde379d4 cooling加条件限制 пре 10 месеци
  lixiang 5ce110574e 1,添加cooling功能 пре 10 месеци
  sangwq 8a8ff0ced1 Fixed the cycle blocking bug with one wafer per cycle. пре 10 месеци
  kuangzl eaf2ce039b Added PMChamberLabel display for VenusDE and VenusSE. пре 11 месеци
  kuangzl 7631216206 Improve the animation of SE Robot, modify Venus SE UI, complete casette load animation. пре 11 месеци
  chenkui 83714d769e add vce module SafeLoad/SafeUnload/Map function пре 11 месеци
  kuangzl f56adfe739 Upload missing code and remove the PM pressure display. пре 11 месеци
  chenkui 25954d684c update EquipmentVariables.xml and Secsgem dll пре 11 месеци
  kuangzl a971969e35 Modify the UI of VenusDE and fix the ReturnWafer Button. пре 11 месеци
  kuangzl cfd9253e8a Modified the style of the venusDE page and added the DERobot movement. пре 11 месеци
  sangwq 3b1932fced Add Loadport loaded check while manual transfer wafer. пре 11 месеци
  sangwq ed2162b82c Fix the PreClean/PostClean disorder bug. пре 11 месеци
  sangwq 09e8c5db30 Fix the post clean not running bug. пре 11 месеци
  sangwq 260120e0d5 Change the PreClean/PostClean design. пре 11 месеци
  zhouhr 4269c343ba upload missing files.. пре 11 месеци
  zhouhr 4e783f1934 fix the bug in Pendulum Valve for FullRangePressure && fix the bug of Pump/Vent in VenusSE && add check before VCE move in z-axis пре 11 месеци
  zhouhr eff7f8a03e upload missing files пре 11 месеци
  zhouhr afa8662437 Changed from VPA to Aligner1 && Removed PreClean, PostClean in SequenceInfo пре 11 месеци
  zhouhr dd99f38e54 change the system by configtype in App.config in RT,Simulator && change the temp by chillertype in VenusDE пре 11 месеци
  hecl 4b1a37ee73 fix bugs пре 11 месеци
  hecl f9b485c583 1.change pressurecontrol before opendoor from ChamberPressure to ProcessPressure пре 11 месеци
  hecl 31019683d7 1.Venus MFCVerification UI enhance пре 11 месеци
  lixiang 3fb3984bd3 1.添加 Heater 伺服到位信号,手臂进腔前check пре 11 месеци
  sangwq 1b11b89cd6 handle the Scheduler wafers while destination PM unexpected offline. пре 11 месеци
  zhouhr 01f4eaa5de fix the bug in SEMFSwapRoutine пре 11 месеци
  sangwq da0e19a78e enhance the error handling routine while PM offline. пре 11 месеци
  sangwq 1d60dcb593 Fix the bugs about Exclude/Include feature. пре 11 месеци