 lixiang
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3fb3984bd3
1.添加 Heater 伺服到位信号，手臂进腔前check
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11 月之前 |
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lixiang
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a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
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11 月之前 |
 hecl
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1a56dd552c
fix bugs
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11 月之前 |
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lixiang
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9163903164
Kepler2200优化
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11 月之前 |
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lixiang
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ecd991d2f4
1.修复kepler 气缸开关信号只读on或者off bug
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11 月之前 |
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hecl
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f814cf53a8
1.Add simulator read RF ConfigType function
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1 年之前 |
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hecl
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996eacc709
VenusDE recipe tolerance enhance
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1 年之前 |
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lixiang
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3e00375ce8
1.FDC代码逻辑移到PricessDefine
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1 年之前 |
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hecl
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21d202af0e
Add VenusDE WallChiller UI & ViewModel
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1 年之前 |
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hecl
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fedcc95273
1.Venus DE process enhance
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1 年之前 |
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hecl
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7fe748b93a
1.Add Venus DE processdefine content
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1 年之前 |
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hecl
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b3a13fc6c7
1.IoMagnet device Logical supplement
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1 年之前 |
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lixiang
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552d60ca99
1.Stable与Tolerance 功能优化
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1 年之前 |
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lixiang
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7e15cb64a0
1.Recipe 添加 Stable/OverEtch 功能
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1 年之前 |
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hecl
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0b8a98a845
IoDevice IoMagnet Add
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1 年之前 |
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hecl
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68754c24af
1.add venuse SE/DE turbopump&pendulum interlock
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1 年之前 |
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lixiang
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3ac2e3bc3a
1.删除/注释 PMEntity 里面关于 LoadLock 的代码（Venus样机独有功能）
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1 年之前 |
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hecl
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c332b95d39
venus se checkload, recipe save as function bugs fix, ui bugs fix, transfer auto open vce door ,abort job function
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1 年之前 |
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lixiang
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8b6a73425d
添加Start job 前check kepler2200 高温Heater温度
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1 年之前 |
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hecl
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945ce3c74c
1.Venus SE DE Add PressureControl
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1 年之前 |
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lixiang
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af631c4aaa
1.添加RF Calibration功能
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1 年之前 |
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lixiang
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1929a3510b
1.新版ui界面开发
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1 年之前 |
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lixiang
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7ff42d4eca
1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能，c1/c2小于offset不设置
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1 年之前 |
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lixiang
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bdcf0556c9
1.将kepler2200与其它项目配置文件分开
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1 年之前 |
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lixiang
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68b4ba9640
1.添加mtorr与Pa切换功能
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1 年之前 |
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lixiang
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33ba42d9ef
1.添加RT关闭同时关闭钟摆阀和RF的功能
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1 年之前 |
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hecl
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eb71335c9e
1.VenusDE UI Viewmodel update and fix pipelines switch bugs
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1 年之前 |
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lixiang
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f8026cadbc
控压结束动作bug修复
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1 年之前 |
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lixiang
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967f6b6b9c
添加控压结束，保持一秒流气功能
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 chenkui
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44fc6989ef
1、Remove FabConnect dll file;
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1 年之前 |
