 sangwq
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0af5bc1e75
throughput enhancement.
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9 月之前 |
 lixiang
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99d939492e
1.加登出界面
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9 月之前 |
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sangwq
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5687e44ebc
Enhance routing algorithm.
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9 月之前 |
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lixiang
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5ce110574e
1，添加cooling功能
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10 月之前 |
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lixiang
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a4f8a29122
1.Kepler2200 Gas 改造，六路变八路
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10 月之前 |
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lixiang
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9faf7dc26a
拉取代码软件报警，去除默认Aligner1
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11 月之前 |
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lixiang
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464c53cd94
1.Datalog添加高温Haeter开关显示
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11 月之前 |
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lixiang
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608cf43d67
1.做工艺前pump down 根据底压确定是否执行
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11 月之前 |
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sangwq
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8f537a79cb
Pause/Resume function and enhance duplicated function while transfer wafer timeout.
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1 年之前 |
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lixiang
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caba8d94c6
Duplicated Wafer UI显示
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1 年之前 |
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sangwq
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2de3872723
duplicated wafer function.
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1 年之前 |
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sangwq
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52349cad2b
Duplicated wafer functions.
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1 年之前 |
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lixiang
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b2406d6f78
1.添加signalTonwer ui界面
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1 年之前 |
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sangwq
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236244c8a0
redesign wtw clean function and fix auto vent bug.
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1 年之前 |
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sangwq
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03063bae6a
Enhance the routine framework.
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1 年之前 |
 zhouhr
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37bbeb95df
Add the configuration item QueryAWCOption to determine whether TMRobot AWC collects data && Add TMRobot Pick query AWC
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1 年之前 |
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sangwq
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8f9b95ae8f
Develop transfer cycle.
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1 年之前 |
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lixiang
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072e5d0d01
ui Module TM 名变TMRobot
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1 年之前 |
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sangwq
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8826cc0cd0
开发 AutoCycle 模块， 增加TMRobot module id.
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1 年之前 |
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sangwq
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ed992dd631
Enhance the Log Info
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2 年之前 |
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sangwq
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b741650da1
TM Cycle ready.
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2 年之前 |
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lixiang
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280432bb82
1.TM传片动画制作，UI界面优化
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2 年之前 |
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lixiang
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a48b743e88
1.完成PartialPressure功能
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2 年之前 |
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sangwq
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44ec74603f
TM Transfer
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2 年之前 |
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sangwq
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bdee4a05ba
TM Robot Pick/Place/Swap simulation ready.
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2 年之前 |
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sangwq
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b8bd250b4e
TM/LL Pump/Vent/Purge done.
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2 年之前 |
