 sangwq
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b85b9aa79f
fix some routing bugs.
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hace 1 año |
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sangwq
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709c7a1c10
fixed the routing bug while B In B Out.
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hace 1 año |
 chenkui
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a3f01b0830
1、重新引用最新版本的SecsGem动态库，用于实现FA相应的功能；
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hace 1 año |
 lixiang
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2cbab729fb
添加小标题 home/online/offineInclude/Exclude功能
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hace 1 año |
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lixiang
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4338503e2a
1.添加霍庭格RF Device
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hace 1 año |
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sangwq
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ec2f97e62d
enhance log.
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hace 1 año |
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lixiang
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e511d1f387
1.添加PM控压功能
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hace 1 año |
 zhouhr
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b9a935138d
add vpa vce simulator && update honghuvce driver,SETMEntity,seTMEntity pick place home routine && update VenusSEoverviewmodel......
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hace 2 años |
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zhouhr
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4e5194bce2
add Analysis of EFEM Hardware Error Codes && Monitor of Current Application Resources
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hace 2 años |
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sangwq
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501997ac38
TM/EFEM robot single arm option.
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hace 2 años |
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sangwq
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c223835b1e
enhance AutoCycle module.
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hace 2 años |
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sangwq
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8f9b95ae8f
Develop transfer cycle.
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hace 2 años |
 yangdb
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045eae5c75
1.sequence和recipe修改日志输出格式
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hace 2 años |
 Intern01
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23c59d3c86
1.完成FA模块的功能开发
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hace 2 años |
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sangwq
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f211c4242f
Efem module raw design.
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hace 2 años |
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sangwq
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ed992dd631
Enhance the Log Info
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hace 2 años |
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sangwq
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44ec74603f
TM Transfer
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hace 2 años |
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sangwq
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bdee4a05ba
TM Robot Pick/Place/Swap simulation ready.
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hace 2 años |
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lixiang
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f48943cfd1
解决冲突
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hace 2 años |
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lixiang
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b6c2517c51
1.添加加热功能
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hace 2 años |
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sangwq
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5b037046f9
Add TM/LL modules.
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hace 2 años |
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lixiang
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7a6556869f
1.整理主界面UI
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hace 2 años |
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sangwq
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096c873956
Sequence SPEC update.
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hace 2 años |
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sangwq
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46261ca338
enhance wafer manager.
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hace 2 años |
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sangwq
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c4864f5546
debug gas verification.
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hace 2 años |
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sangwq
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2b930e56b9
Log output for exception.
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hace 2 años |
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sangwq
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4e8a55f733
Endpoint Module.
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hace 2 años |
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sangwq
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d8e5f1dc2c
2022 last update
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hace 2 años |
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sangwq
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0606b882bc
process module 1215
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hace 2 años |
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sangwq
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630c7b7548
Wafer transfer routine done.
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hace 2 años |
