 zhouhr
|
b0e5581d4e
delete some item in SE Config && add WallChiller in DE && add ConfigItem for pump check ForelinePressure in every chambertype
|
пре 11 месеци |
 lixiang
|
caba8d94c6
Duplicated Wafer UI显示
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
552d60ca99
1.Stable与Tolerance 功能优化
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
f03139a580
1.应tps需求添加，VenusSE工艺结束，PM主界面信息保存
|
пре 1 година |
 sangwq
|
746ece5800
restore System.Name configure item
|
пре 1 година |
|
sangwq
|
a05e9eaa1b
Loadlock/TM Robot slot In/Out Options.
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
6bbe2e529b
1.删除或注释 Venus ChamberType
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
0f0650b80f
1.PM 界面 run recipe 变为手动模式
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
d4d56a3cf3
1.添加Recipe内部外部名称，chamberTYpe 比对
|
пре 1 година |
 chenkui
|
63d58afa42
1、SecsGem增加了UTF-8编码的支持；
|
пре 1 година |
|
chenkui
|
587ffe27b5
1、配置文件中增加了FA.Encoding
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
9e14bbee6a
1.由于PM种类变多，且分配置，PM 加载device 功能重写
|
пре 1 година |
|
lixiang
|
f09d7d1b15
分开所有系列配置文件
|
пре 1 година |
