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zhouhr pushed to master at JetPlasma/Mars200VCE

  • e9fad18660 1. 为SEMI 2认证通过增加检查代码，主要包括ChamberWallHeater/ForelineHeater/Chiller 2. 增加LOG中存在的crash问题 3. 增加传进chamber前的两chiller同步检查 4. 增加load UnloadRoutine的禁用R轴

19 hours ago

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3 weeks ago

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  • 1be6684dfd 解决一侧job完成后不销的问题

3 weeks ago

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  • 8ee7b929cb 修改查询高度相关代码，包括手臂Goto和delay，高度传感器driver更新等，由于传感器数据格式和协议所述不一致，仍需联系厂商修改 修复PMProcess Start失败后依旧执行的bug

3 weeks ago

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  • 7fc13d0d48 1. 修复TM.ChamberPressure不记录的bug，初始原代码已做过滤

1 month ago

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  • dc1be23322 1. 修复autounload配置项不生效的bug

1 month ago

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  • b6ede0b115 1. 增加深浦深度传感器驱动 2. 增加CheckArmHeightRoutine用于检查手臂深度，相关站点设置StageAStationNumber,相关界面在TMTransfer界面QueryHeight按钮，数据将通过LOG反馈
  • 4fd3496043 1. 增加autounload配置项 2. 去除autounload后自动offline 3. 增加TM.ChamberPressure,VCEA.ChamberPressure,VCEB.ChamberPressure用于压力的历史数据查询
  • 0e80919872 修复run货后unload不执行的bug
  • 4d97d85c42 upload some missing files
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1 month ago

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  • e7250ef836 1. 修复低压下load不抢泵，且气压有上浮的问题 2. 增加TM PM Online控压下自动pump的功能 3. 增加run货模式下，一侧跑片完成后VCE自动Unload的流程 4. 去除原先越界报警的Alarm提示，原因是现cassette在位信号采用IO 5. 优化调度算法，主要包括增加cooling中缓存片的功能，增加 6. 取消每次Pin动作触发reset信号，导致的无法正常Home的问题

1 month ago

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  • fb932db17e 1. 统一修复BiasMatch名称不统一导致的代码分歧，现将两者合并 2. 修改recipe默认项

2 months ago

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  • e768504afc 1. 增加Home R轴功能 2. 增加Read R轴位置功能 3. 增加Load时在原点为无需R轴缩回功能

2 months ago

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  • 89e1ee7aa7 1. 增加Read R轴位置指令 2. 增加R轴在原点位后的Load不再执行R轴缩回

2 months ago

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  • 4f59f4194f 1. 增加Home R轴的页面配置 2. 增加HomeAxis的各个状态下的出入状态

2 months ago

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  • fb79b088ce 1. 调整Revtec match部分 与Adtec match代码保持一致 2. 修改HongHuVCE的msg处理部分存在的无效分割问题

2 months ago

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  • 5bb32f662f 更新泓浒手臂errorcode 增加伺服电机LiftPin超时配置项

2 months ago

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2 months ago

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  • 502057d56c 1. 修复cycle问题 2. 增加vce error code 3. 增加HongHu Robot模拟器 4. 修复LeakCheck兼容问题

2 months ago

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  • 27cb698723 1. 修复GuidePin报错 2. LiftPin2中增加Reset地址

2 months ago

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  • e962fe528d Merge branch 'master' of http://10.4.3.168:3000/JetPlasma/Mars200VCE
  • 8b5a02e5d2 1. 修复cycle中出现的cooling strike报警问题，原因是调度中取片等待策略未指定到空槽位导致 2. 修复Process中报错BiasRF.SetMatchMode，C1，C2选项报错，原因是原先代码将其在AdTec的配置下删除了上3个命令，新增Revtec后该问题暴露，现增加配置IgnoreBiasMatch项用于判定是否启动BiasRF.SetMatchMode，C1，C2以兼容新旧代码 3. 增加界面MFC气体的流气传感显示，增加IOMFC控制中的气体不足的传感器变量暴露 4. 增加伺服电机中报警，增加伺服电机的运动提示和Reset功能,增加PMHome中的伺服电机ReSet，增加配置各个Position的位移量以及速度的配置项 5. 增加Vent对PLUS腔体的兼容，增加单独开启GasFinal步骤，原因是气路变化 6. Revtec Match中查询采用独立定时器定期查询，修复原先设置后C1 C2无效的问题，取消SetBias1MatchPosition，原因是Adtec无实现且厂商推荐自动匹配 7. 按照是否是PLUS腔体显示不同的腔体气路设计，同时腔体的相关流气过程有 8. 增加PMProcess，GasFlow，MFCVerification中对PLUS腔体的兼容，去除开启Purge，原因是气路变化 9. PumpDown中增加CheckCrossPressure，用于判定快慢抽阀体开关切换，原先采用定时切换 10.增加以上相关的Simulator（除RevtecMatch外）
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2 months ago

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  • aa78f3d05e 1. 修复Match主键多次subscribe的报错 2. 修复伺服LiftPin空报警的bug 3. 增加BiasMatch在手动模式下兼容revtec match 4. 增加对createjob中空sequence文件的检查 5. 增加Load前延迟，通过VCE下配置项WaitBeforeLoad自由配置 6. 增加对Plus版VCE的指令解析和动作增加 7. 增加对Metis和200v+腔体混跑的支持，recipe文件按照IsPlus分开

2 months ago

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  • aeb5ec3196 1. 增加Mars200v+ RevTect Match Driver 2. 增加IOLiftPin模块用于伺服电机驱动 3. VCE模块增加IsPlus配置项，用于增加PIO动作，兼容200V+ 4. recipe模块增加两种腔体的format类型，通过PM.IsPlus配置项切换,工艺亦增加相关兼容 5. PM模块增加Home部分对伺服电机找0兼容 6. PM界面兼容两种LiftPin界面 7. PM部分对两种LiftPin模块的兼容性做同步 8. 模拟器部分增加根据App.config下systemtype进行不同机型切换 ...

2 months ago