| .. |
|
EFEMs
|
1fb2217bb6
1.修改名称 2.增加unload
|
1 mēnesi atpakaļ |
|
Interlocks
|
e07f607f6f
提交代码
|
4 mēneši atpakaļ |
|
LPs
|
f79574ead6
调试修改
|
2 mēneši atpakaļ |
|
PMs
|
7779ac15e1
1.pm home时增加lift pin is busy检查
|
1 nedēļu atpakaļ |
|
Schedulers
|
f92e4e963f
1.修改efem界面，把Aligner1 改成 Aligner，buffer改成cooling
|
1 mēnesi atpakaļ |
|
AutoTransfer.cs
|
e07f607f6f
提交代码
|
4 mēneši atpakaļ |
|
AutoTransferClean.cs
|
e07f607f6f
提交代码
|
4 mēneši atpakaļ |
|
AutoTransfer_FA.cs
|
e07f607f6f
提交代码
|
4 mēneši atpakaļ |
|
AutoTransfer_T.cs
|
9ef63100bb
1.调度增加串行，以及修改liftpin报警
|
2 nedēļas atpakaļ |
|
EntityTaskBase.cs
|
e07f607f6f
提交代码
|
4 mēneši atpakaļ |
|
HomeAll.cs
|
5106720f86
1.修改efem water leak 和 名称等相关
|
3 nedēļas atpakaļ |
|
IMoveManager.cs
|
e07f607f6f
提交代码
|
4 mēneši atpakaļ |
|
ManualTransfer.cs
|
f92e4e963f
1.修改efem界面，把Aligner1 改成 Aligner，buffer改成cooling
|
1 mēnesi atpakaļ |
|
ReturnAllWafer.cs
|
f92e4e963f
1.修改efem界面，把Aligner1 改成 Aligner，buffer改成cooling
|
1 mēnesi atpakaļ |
|
RouteManager.cs
|
c0c9a4b925
1.隐藏配置，TVPressure改为5000
|
1 mēnesi atpakaļ |
JET-YDB\JET-YANGDB
7779ac15e1
1.pm home时增加lift pin is busy检查