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EFEMs
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1fb2217bb6
1.修改名称 2.增加unload
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1 개월 전 |
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Interlocks
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e07f607f6f
提交代码
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4 달 전 |
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LPs
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f79574ead6
调试修改
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2 달 전 |
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PMs
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7779ac15e1
1.pm home时增加lift pin is busy检查
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1 주 전 |
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Schedulers
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f92e4e963f
1.修改efem界面，把Aligner1 改成 Aligner，buffer改成cooling
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1 개월 전 |
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AutoTransfer.cs
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e07f607f6f
提交代码
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4 달 전 |
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AutoTransferClean.cs
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e07f607f6f
提交代码
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4 달 전 |
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AutoTransfer_FA.cs
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e07f607f6f
提交代码
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4 달 전 |
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AutoTransfer_T.cs
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9ef63100bb
1.调度增加串行，以及修改liftpin报警
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2 주 전 |
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EntityTaskBase.cs
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e07f607f6f
提交代码
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4 달 전 |
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HomeAll.cs
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5106720f86
1.修改efem water leak 和 名称等相关
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3 주 전 |
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IMoveManager.cs
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e07f607f6f
提交代码
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4 달 전 |
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ManualTransfer.cs
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f92e4e963f
1.修改efem界面，把Aligner1 改成 Aligner，buffer改成cooling
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1 개월 전 |
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ReturnAllWafer.cs
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f92e4e963f
1.修改efem界面，把Aligner1 改成 Aligner，buffer改成cooling
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1 개월 전 |
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RouteManager.cs
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c0c9a4b925
1.隐藏配置，TVPressure改为5000
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1 개월 전 |
JET-YDB\JET-YANGDB
7779ac15e1
1.pm home时增加lift pin is busy检查