JetPlasma/Virgo_Mask

作者	SHA1 备注	提交日期
JET-YDB\JET-YANGDB	f92e4e963f 1.修改efem界面，把Aligner1 改成 Aligner，buffer改成cooling	2 月之前
JET-YDB\JET-YANGDB	f79574ead6 调试修改	2 月之前
JET-YDB\JET-YANGDB	ef6f73344e 1.增加单臂，双臂，Ignore Ionizer error， gas1~5 warning range and time ，双轴伺服pos diff 配置	2 月之前
JET-YDB\JET-YANGDB	e07f607f6f 提交代码	4 月之前