 chenzk
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ed1923e293
add DM reservoir view/viewModel
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hace 1 semana |
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chenzk
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06b4b1f386
add AN direplen releated
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hace 1 semana |
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chenzk
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0aa55ce909
1 revise efem view
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hace 1 semana |
 chenkui
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ac4ae70a0d
update Reservoir
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hace 1 semana |
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chenzk
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301233e909
1 revise lp wafersize io，add wafersize releated
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hace 2 semanas |
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chenzk
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2ab01da9c2
add WaferRobotFAction None
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hace 2 semanas |
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chenzk
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91b9a1f384
revise robot flip cartoon
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hace 2 semanas |
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chenzk
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02069c13bc
add robot pick/place parameter upper/down releate
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hace 2 semanas |
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chenkui
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aa612ce417
update EFEM LoadPort Image
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hace 2 semanas |
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chenzk
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1683bda19a
revise robot pick/place cartoon in platingcell 3/4
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hace 2 semanas |
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chenzk
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f1e242d81e
add operation blade2 wafer information
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hace 2 semanas |
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chenzk
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9678b3fb49
1 revise robot cycle only one module bug
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hace 2 semanas |
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chenkui
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c48d398268
update cassete place io
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hace 2 semanas |
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chenkui
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5f6b2088cf
Update OperationOverViewModelNew.cs name
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hace 2 semanas |
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chenzk
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d821fc973a
add robot pick/place cartoon
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hace 2 semanas |
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chenkui
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3811a9b925
update EFEM View
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hace 2 semanas |
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chenzk
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57d22c6c02
add punk robot control
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hace 2 semanas |
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chenzk
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751e38538e
1 add dummy rinse time check with linked dep recipe
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hace 3 semanas |
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chenzk
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8c6fa5e5e3
1.Add new module station number
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hace 3 semanas |
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chenzk
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ad86e0d238
add efem view flip select
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hace 3 semanas |
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chenzk
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dcd0d75f4c
1 add robotcycle plating cell Module
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hace 3 semanas |
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chenzk
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a7b9c3e65c
revise pick/place bug
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hace 3 semanas |
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chenzk
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787f73f714
revise pick/place check precondition bug
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hace 3 semanas |
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chenkui
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e66519b753
add EFEM Arm/Flip interlock
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hace 4 semanas |
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chenzk
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4807c5bf6d
revise filp/noflip to down/upper
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hace 4 semanas |
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chenkui
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b16bfd18db
update robot cycle add placeRobotFlip parameter
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hace 4 semanas |
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chenkui
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47ff767d1a
update EFEM Place Routine with flip;
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hace 4 semanas |
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chenzk
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0a500c4757
add EFEM platingcell pick/place
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hace 4 semanas |
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chenzk
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9ee6d50c0f
1revise robot cycle
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hace 1 mes |
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chenzk
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514c820d3b
revise vent prewet bug
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hace 1 mes |
