 chenzk
|
6f0b9879cc
add reservoir1 io and twincat releated
|
1 месяц назад |
 chenkui
|
ac4ae70a0d
update Reservoir
|
1 месяц назад |
|
chenzk
|
d821fc973a
add robot pick/place cartoon
|
месяцев назад: 2 |
|
chenzk
|
8c6fa5e5e3
1.Add new module station number
|
месяцев назад: 2 |
|
chenzk
|
dcd0d75f4c
1 add robotcycle plating cell Module
|
месяцев назад: 2 |
|
chenzk
|
9ee6d50c0f
1revise robot cycle
|
месяцев назад: 2 |
|
chenzk
|
28abb1ea49
add res/dep recipe
|
месяцев назад: 2 |
|
chenzk
|
0ae3f020eb
add facility all
|
месяцев назад: 2 |
|
chenzk
|
d2a498218c
1revise facility device
|
месяцев назад: 2 |
|
chenzk
|
579a398b22
1 revise vpw vacuum prewet routine retry bug
|
месяцев назад: 2 |
|
chenzk
|
9139d8f851
1. revise vpw total flow Monitor
|
месяцев назад: 2 |
|
chenzk
|
0ed2fa049e
1 add vpw auto drip valve on
|
месяцев назад: 3 |
|
chenzk
|
30b86c960b
add vpw rotation interlock
|
месяцев назад: 3 |
|
chenzk
|
34be630592
add chamber up/down check config
|
месяцев назад: 3 |
|
chenkui
|
f918b35c00
complete vpw recipe
|
месяцев назад: 3 |
|
chenkui
|
9ed5517270
update vpw recipe
|
месяцев назад: 3 |
 guojun
|
b193d3a023
修改CellFlowStartLowLimit上限
|
месяцев назад: 3 |
|
chenkui
|
28e1e8e4ab
add VPW Prepare routine
|
месяцев назад: 3 |
|
chenkui
|
bfd0b53b4a
update VPW Initialize
|
месяцев назад: 3 |
|
chenkui
|
8405df311e
add Booster Pump speed adjust;
|
месяцев назад: 3 |
|
chenkui
|
a627dc6488
Update VPWMainCommonData
|
месяцев назад: 3 |
|
chenkui
|
802ecf62cb
add VPWMain Persistent value speed variable;
|
месяцев назад: 3 |
|
chenkui
|
c2d9da3983
Initialize
|
месяцев назад: 3 |
