 chenzk
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6f0b9879cc
add reservoir1 io and twincat releated
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hace 1 mes |
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chenzk
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301233e909
1 revise lp wafersize io，add wafersize releated
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hace 2 meses |
 chenkui
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c48d398268
update cassete place io
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hace 2 meses |
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chenkui
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3811a9b925
update EFEM View
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hace 2 meses |
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chenzk
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0ae3f020eb
add facility all
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hace 2 meses |
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chenzk
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d8ddc42656
add safety module all
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hace 2 meses |
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chenzk
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d2a498218c
1revise facility device
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hace 2 meses |
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chenkui
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4de27837d1
update safetyData
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hace 2 meses |
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chenzk
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df95347b40
add facility I/O releated
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hace 2 meses |
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chenzk
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5dfc09d488
add safety view and twincat releated
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hace 3 meses |
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chenkui
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960a907e5d
update Beckhoffcfg.xml
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hace 3 meses |
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chenkui
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802ecf62cb
add VPWMain Persistent value speed variable;
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hace 3 meses |
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chenkui
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587667fd0f
update VPW MainIO content
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hace 3 meses |
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chenkui
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32f216fca2
add VPWMain/VPW1/VPW2 into Beckhoffcfg.xml;
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hace 3 meses |
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chenkui
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7957a5c8af
Update VPWCell1/VPWCell2 to VPW1/VPW2;
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hace 3 meses |
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chenkui
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c2d9da3983
Initialize
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hace 3 meses |
