 chenzk
|
6f0b9879cc
add reservoir1 io and twincat releated
|
пре 1 месец |
|
chenzk
|
301233e909
1 revise lp wafersize io，add wafersize releated
|
пре 2 месеци |
 chenkui
|
c48d398268
update cassete place io
|
пре 2 месеци |
|
chenzk
|
d821fc973a
add robot pick/place cartoon
|
пре 2 месеци |
|
chenkui
|
3811a9b925
update EFEM View
|
пре 2 месеци |
|
chenzk
|
8c6fa5e5e3
1.Add new module station number
|
пре 2 месеци |
|
chenzk
|
0a500c4757
add EFEM platingcell pick/place
|
пре 2 месеци |
|
chenkui
|
a22406bc3a
update EFEM Signal tower
|
пре 2 месеци |
|
chenzk
|
0ae3f020eb
add facility all
|
пре 2 месеци |
|
chenzk
|
d8ddc42656
add safety module all
|
пре 2 месеци |
|
chenzk
|
df95347b40
add facility I/O releated
|
пре 2 месеци |
|
chenzk
|
5dfc09d488
add safety view and twincat releated
|
пре 2 месеци |
|
chenzk
|
0ed2fa049e
1 add vpw auto drip valve on
|
пре 3 месеци |
|
chenzk
|
7cf1fd838c
add vpw cell waferinfo
|
пре 3 месеци |
|
chenkui
|
f918b35c00
complete vpw recipe
|
пре 3 месеци |
|
chenkui
|
9ed5517270
update vpw recipe
|
пре 3 месеци |
|
chenzk
|
b079fb0436
add vpw recipe releated，vpw main/cell UI module
|
пре 3 месеци |
|
chenzk
|
823131cd5b
add vpw recipe view partly
|
пре 3 месеци |
|
chenkui
|
960a907e5d
update Beckhoffcfg.xml
|
пре 3 месеци |
|
chenkui
|
1cdd2160ec
update kollmorgen axis
|
пре 3 месеци |
|
chenzk
|
fe78b81136
add vpwmain persistent
|
пре 3 месеци |
|
chenkui
|
802ecf62cb
add VPWMain Persistent value speed variable;
|
пре 3 месеци |
|
chenzk
|
3283e7d38d
add vpw main UI
|
пре 3 месеци |
|
chenkui
|
32f216fca2
add VPWMain/VPW1/VPW2 into Beckhoffcfg.xml;
|
пре 3 месеци |
|
chenkui
|
7957a5c8af
Update VPWCell1/VPWCell2 to VPW1/VPW2;
|
пре 3 месеци |
|
chenzk
|
23fdb5a2fd
add vpw main view releated
|
пре 3 месеци |
|
chenkui
|
c2d9da3983
Initialize
|
пре 3 месеци |
