EfemPickPMRoutine.cs 20 KB

123456789101112131415161718192021222324252627282930313233343536373839404142434445464748495051525354555657585960616263646566676869707172737475767778798081828384858687888990919293949596979899100101102103104105106107108109110111112113114115116117118119120121122123124125126127128129130131132133134135136137138139140141142143144145146147148149150151152153154155156157158159160161162163164165166167168169170171172173174175176177178179180181182183184185186187188189190191192193194195196197198199200201202203204205206207208209210211212213214215216217218219220221222223224225226227228229230231232233234235236237238239240241242243244245246247248249250251252253254255256257258259260261262263264265266267268269270271272273274275276277278279280281282283284285286287288289290291292293294295296297298299300301302303304305306307308309310311312313314315316317318319320321322323324325326327328329330331332333334335336337338339340341342343344345346347348349350351352353354355356357358359360361362363364365366367368369370371372373374375376377378379380381382383384385386387388389390391392393394395396397398399400401402403404405406407408409410411412413414415416417418419420421422423424425426427428429430431432433434435436437438439440441442443444445446447448449450451452453454455456457458459460461462463464465466467468469470471472473474475476477478479480481482483484485486487488489490491492493494495496497498499500501502503504505506507508509510511512513514515516517518519520521522523524525526527528529530531532533534535536537538539540541542543544545546547548549550551552553554555556557558559560561562563564565566567568569570571572573574575576577578579
  1. //using Aitex.Core.RT.Event;
  2. //using Aitex.Core.RT.Routine;
  3. //using Aitex.Core.RT.SCCore;
  4. //using Aitex.Core.Util;
  5. //using Aitex.Sorter.Common;
  6. //using MECF.Framework.Common.Equipment;
  7. //using MECF.Framework.Common.Schedulers;
  8. //using MECF.Framework.Common.SubstrateTrackings;
  9. //using MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.HardwareUnits.Robots;
  10. //using MECF.Framework.RT.EquipmentLibrary.LogicUnits;
  11. //using StripRT.Equipments.PMs;
  12. //using StripRT.Equipments.Systems;
  13. //using System;
  14. //using System.Collections.Generic;
  15. //using System.Linq;
  16. //using System.Text;
  17. //using System.Threading.Tasks;
  18. //namespace StripRT.Equipments.Efems
  19. //{
  20. // class EfemPickPMRoutine : ModuleRoutine, IRoutine
  21. // {
  22. // enum RoutineStep
  23. // {
  24. // CheckBeforePick,
  25. // PickWafer,
  26. // CheckBeforePick2,
  27. // PickWafer2,
  28. // PostTransfer,
  29. // PrepareTransfer,
  30. // PickExtend,
  31. // PickRetract,
  32. // LiftUp,
  33. // LiftDown,
  34. // }
  35. // private int _pickTimeout;
  36. // private ModuleName _source;
  37. // private int _sourceSlot;
  38. // private Hand _hand;
  39. // private bool _autoHand;
  40. // private EfemModule _robotModule;
  41. // private ITransferTarget _target;
  42. // private int _postTransferTimeout;
  43. // private RobotPostionEnum postiontype;
  44. // public EfemPickPMRoutine(EfemModule robotModule)
  45. // {
  46. // Module = "EfemRobot";
  47. // Name = "PickPM";
  48. // _robotModule = robotModule;
  49. // }
  50. // public Result Start(params object[] objs)
  51. // {
  52. // _pickTimeout = SC.GetValue<int>("EFEM.EfemRobot.PickTimeout");
  53. // Reset();
  54. // if (_autoHand)
  55. // {
  56. // if (WaferManager.Instance.CheckNoWafer(ModuleName.EfemRobot, 0))
  57. // {
  58. // _hand = Hand.Blade1;
  59. // }
  60. // else if (WaferManager.Instance.CheckNoWafer(ModuleName.EfemRobot, 1))
  61. // {
  62. // _hand = Hand.Blade2;
  63. // }
  64. // else
  65. // {
  66. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not pick, Robot both arm has wafer");
  67. // return Result.FAIL;
  68. // }
  69. // }
  70. // if (_hand == Hand.Both)
  71. // {
  72. // if (WaferManager.Instance.GetWafers(_source).Length < 2)
  73. // {
  74. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not pick use both arm, Only one slot at {_source}");
  75. // return Result.FAIL;
  76. // }
  77. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(_source, _sourceSlot))
  78. // {
  79. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not pick, No wafer at {_source}, {_sourceSlot + 1}");
  80. // return Result.FAIL;
  81. // }
  82. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(_source, _sourceSlot + 1))
  83. // {
  84. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not pick, No wafer at {_source}, {_sourceSlot + 1 + 1}");
  85. // return Result.FAIL;
  86. // }
  87. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(Module, (int)Hand.Blade1))
  88. // {
  89. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not pick, Robot arm 1 has wafer");
  90. // return Result.FAIL;
  91. // }
  92. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(Module, (int)Hand.Blade2))
  93. // {
  94. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not pick, Robot arm 2 has wafer");
  95. // return Result.FAIL;
  96. // }
  97. // }
  98. // else
  99. // {
  100. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(_source, _sourceSlot))
  101. // {
  102. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not pick, No wafer at {_source}, {_sourceSlot + 1}");
  103. // return Result.FAIL;
  104. // }
  105. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(Module, (int)_hand))
  106. // {
  107. // EV.PostWarningLog(Module, $"Can not pick, Robot arm {(int)_hand + 1} has wafer");
  108. // return Result.FAIL;
  109. // }
  110. // }
  111. // Notify($"Start, Pick from {_source} slot {_sourceSlot + 1}, by {_hand}");
  112. // return Result.RUN;
  113. // }
  114. // public void Init(ModuleName source, int slot, Hand hand)
  115. // {
  116. // _autoHand = false;
  117. // _source = source;
  118. // _sourceSlot = slot;
  119. // _hand = hand;
  120. // if (ModuleHelper.IsPm(source))
  121. // _postTransferTimeout = SC.GetValue<int>($"PM.PostTransferTimeout");
  122. // _target = Singleton<EquipmentManager>.Instance.Modules[source] as ITransferTarget;
  123. // }
  124. // public void Init(ModuleName source, int slot)
  125. // {
  126. // _autoHand = true;
  127. // _source = source;
  128. // _sourceSlot = slot;
  129. // if (ModuleHelper.IsPm(source))
  130. // _postTransferTimeout = SC.GetValue<int>($"PM.PostTransferTimeout");
  131. // _target = Singleton<EquipmentManager>.Instance.Modules[source] as ITransferTarget;
  132. // }
  133. // public void Abort()
  134. // {
  135. // if (_target != null)
  136. // {
  137. // _target.NoteTransferStop(ModuleName.EfemRobot, Hand.Blade1, 0, EnumTransferType.Pick);
  138. // }
  139. // _target = null;
  140. // Notify("Abort");
  141. // }
  142. // public Result Monitor()
  143. // {
  144. // try
  145. // {
  146. // if (ModuleHelper.IsPm(_source))
  147. // {
  148. // if (!_target.CheckReadyForTransfer(ModuleName.EfemRobot, _hand, _sourceSlot, EnumTransferType.Pick, out _))
  149. // {
  150. // PrepareTransfer((int)RoutineStep.PrepareTransfer, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Pick, _postTransferTimeout);
  151. // }
  152. // }
  153. // if (_hand == Hand.Both)
  154. // {
  155. // CheckBeforePick((int)RoutineStep.CheckBeforePick, _source, _sourceSlot, Hand.Blade1);
  156. // PickWafer((int)RoutineStep.PickWafer, _source, _sourceSlot, Hand.Blade1, _pickTimeout);
  157. // CheckBeforePick((int)RoutineStep.CheckBeforePick2, _source, _sourceSlot + 1, Hand.Blade2);
  158. // PickWafer((int)RoutineStep.PickWafer2, _source, _sourceSlot + 1, Hand.Blade2, _pickTimeout);
  159. // }
  160. // else
  161. // {
  162. // CheckBeforePick((int)RoutineStep.CheckBeforePick, _source, _sourceSlot, _hand);
  163. // RobotExtend((int)RoutineStep.PickExtend, _source, _sourceSlot, _hand, RobotPostionEnum.PickExtendLow, _pickTimeout);
  164. // MovePinUp((int)RoutineStep.LiftUp, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Extend, _pickTimeout);
  165. // RobotRetract((int)RoutineStep.PickRetract, _source, _sourceSlot, _hand, RobotPostionEnum.PickRetracted, _pickTimeout);
  166. // LiftPinDown((int)RoutineStep.LiftDown, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Retract, _pickTimeout);
  167. // //PickWafer((int)RoutineStep.PickWafer, _source, _sourceSlot, _hand, _pickTimeout);
  168. // }
  169. // if (ModuleHelper.IsPm(_source))
  170. // {
  171. // PostTransfer((int)RoutineStep.PostTransfer, _target as PMModuleBase, EnumTransferType.Pick, _postTransferTimeout);
  172. // }
  173. // }
  174. // catch (RoutineBreakException)
  175. // {
  176. // return Result.RUN;
  177. // }
  178. // catch (RoutineFaildException)
  179. // {
  180. // return Result.FAIL;
  181. // }
  182. // _target.NoteTransferStop(ModuleName.EfemRobot, Hand.Blade1, 0, EnumTransferType.Pick);
  183. // Notify($"Finish, Pick from {_source} slot {_sourceSlot + 1}, by {_hand}");
  184. // return Result.DONE;
  185. // }
  186. // public void CheckBeforePick(int id, ModuleName source, int slot, Hand blade)
  187. // {
  188. // Tuple<bool, Result> ret = Execute(id, () =>
  189. // {
  190. // Notify("Check pick is enabled");
  191. // string reason = string.Empty;
  192. // if (!_target.CheckReadyForTransfer(ModuleName.EfemRobot, _hand, _sourceSlot, EnumTransferType.Pick, out reason))
  193. // {
  194. // Stop(reason);
  195. // return false;
  196. // }
  197. // if (blade == Hand.Blade1)
  198. // {
  199. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(source, slot))
  200. // {
  201. // Stop("Source no wafer");
  202. // return false;
  203. // }
  204. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(ModuleName.EfemRobot, 0))
  205. // {
  206. // Stop("Blade has wafer");
  207. // return false;
  208. // }
  209. // }
  210. // else if (blade == Hand.Blade2)
  211. // {
  212. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(source, slot))
  213. // {
  214. // Stop("Source no wafer");
  215. // return false;
  216. // }
  217. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(ModuleName.EfemRobot, 1))
  218. // {
  219. // Stop("Blade has wafer");
  220. // return false;
  221. // }
  222. // }
  223. // else
  224. // {
  225. // for (int i = 0; i < 2; i++)
  226. // {
  227. // if (!WaferManager.Instance.CheckHasWafer(source, slot + i))
  228. // {
  229. // Stop("Source no wafer");
  230. // return false;
  231. // }
  232. // if (!WaferManager.Instance.CheckNoWafer(ModuleName.EfemRobot, i))
  233. // {
  234. // Stop("Blade has wafer");
  235. // return false;
  236. // }
  237. // }
  238. // }
  239. // return true;
  240. // });
  241. // if (ret.Item1)
  242. // {
  243. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  244. // {
  245. // throw (new RoutineFaildException());
  246. // }
  247. // }
  248. // }
  249. // public void PickWafer(int id, ModuleName chamber, int slot, Hand hand, int timeout)
  250. // {
  251. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  252. // {
  253. // Notify("robot execute pick command");
  254. // _target.NoteTransferStart(ModuleName.EfemRobot, Hand.Blade1, 0, EnumTransferType.Pick);
  255. // string reason;
  256. // if (!_robotModule.RobotDevice.Pick(chamber, hand, slot, out reason))
  257. // {
  258. // Stop(reason);
  259. // return false;
  260. // }
  261. // return true;
  262. // }, () =>
  263. // {
  264. // if (_robotModule.RobotDevice.IsError)
  265. // return null;
  266. // if (_robotModule.RobotDevice.IsIdle)
  267. // return true;
  268. // return false;
  269. // }, timeout * 1000);
  270. // if (ret.Item1)
  271. // {
  272. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  273. // {
  274. // Stop(string.Format("failed."));
  275. // throw (new RoutineFaildException());
  276. // }
  277. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  278. // {
  279. // Stop(string.Format("timeout, can not complete in {0} seconds", timeout));
  280. // throw (new RoutineFaildException());
  281. // }
  282. // else
  283. // throw (new RoutineBreakException());
  284. // }
  285. // }
  286. // public void PostTransfer(int id, PMModuleBase pm, EnumTransferType type, int timeout)
  287. // {
  288. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  289. // {
  290. // Notify($"{pm.Name} post transfer ");
  291. // if (!pm.PostTransfer(ModuleName.EfemRobot, Hand.Blade1, 0, type, out string reason))
  292. // {
  293. // Stop(reason);
  294. // return false;
  295. // }
  296. // return true;
  297. // }, () =>
  298. // {
  299. // if (pm.IsError)
  300. // {
  301. // return null;
  302. // }
  303. // return pm.IsReady;
  304. // }, timeout * 1000);
  305. // if (ret.Item1)
  306. // {
  307. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  308. // {
  309. // Stop($"{pm.Name} error");
  310. // throw (new RoutineFaildException());
  311. // }
  312. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  313. // {
  314. // Stop($"{pm.Name} post transfer timeout, over {timeout} seconds");
  315. // throw (new RoutineFaildException());
  316. // }
  317. // else
  318. // throw (new RoutineBreakException());
  319. // }
  320. // }
  321. // public void PrepareTransfer(int id, PMModuleBase pm, EnumTransferType type, int timeout)
  322. // {
  323. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  324. // {
  325. // Notify($"{pm.Name} Prepare transfer ");
  326. // if (!pm.PrepareTransfer(ModuleName.EfemRobot, Hand.Blade1, 0, type, out string reason))
  327. // {
  328. // Stop(reason);
  329. // return false;
  330. // }
  331. // return true;
  332. // }, () =>
  333. // {
  334. // if (pm.IsError)
  335. // {
  336. // return null;
  337. // }
  338. // return pm.IsReady;
  339. // }, timeout * 1000);
  340. // if (ret.Item1)
  341. // {
  342. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  343. // {
  344. // Stop($"{pm.Name} error");
  345. // throw (new RoutineFaildException());
  346. // }
  347. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  348. // {
  349. // Stop($"{pm.Name} Prepare transfer timeout, over {timeout} seconds");
  350. // throw (new RoutineFaildException());
  351. // }
  352. // else
  353. // throw (new RoutineBreakException());
  354. // }
  355. // }
  356. // public void RobotExtend(int id, ModuleName chamber, int slot, Hand hand, RobotPostionEnum robotPostion, int timeout)
  357. // {
  358. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  359. // {
  360. // Notify("robot execute goto command");
  361. // string reason;
  362. // if (!_robotModule.RobotDevice.GotoRE(chamber, hand, slot, robotPostion, out reason))
  363. // {
  364. // Stop(reason);
  365. // return false;
  366. // }
  367. // return true;
  368. // }, () =>
  369. // {
  370. // if (_robotModule.RobotDevice.IsError)
  371. // return null;
  372. // if (_robotModule.RobotDevice.IsIdle)
  373. // return true;
  374. // return false;
  375. // }, timeout * 1000);
  376. // if (ret.Item1)
  377. // {
  378. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  379. // {
  380. // Stop(string.Format("failed."));
  381. // throw (new RoutineFaildException());
  382. // }
  383. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  384. // {
  385. // Stop(string.Format("timeout, can not complete in {0} seconds", timeout));
  386. // throw (new RoutineFaildException());
  387. // }
  388. // else
  389. // throw (new RoutineBreakException());
  390. // }
  391. // }
  392. // public void RobotRetract(int id, ModuleName chamber, int slot, Hand hand, RobotPostionEnum robotPostion, int timeout)
  393. // {
  394. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  395. // {
  396. // Notify("robot execute goto command");
  397. // string reason;
  398. // if (!_robotModule.RobotDevice.GotoRE(chamber, hand, slot, robotPostion, out reason))
  399. // {
  400. // Stop(reason);
  401. // return false;
  402. // }
  403. // return true;
  404. // }, () =>
  405. // {
  406. // if (_robotModule.RobotDevice.IsError)
  407. // return null;
  408. // if (_robotModule.RobotDevice.IsIdle)
  409. // return true;
  410. // return false;
  411. // }, timeout * 1000);
  412. // if (ret.Item1)
  413. // {
  414. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  415. // {
  416. // Stop(string.Format("failed."));
  417. // throw (new RoutineFaildException());
  418. // }
  419. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  420. // {
  421. // Stop(string.Format("timeout, can not complete in {0} seconds", timeout));
  422. // throw (new RoutineFaildException());
  423. // }
  424. // else
  425. // throw (new RoutineBreakException());
  426. // }
  427. // }
  428. // public void MovePinUp(int id, PMModuleBase pm, EnumTransferType type, int timeout)
  429. // {
  430. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  431. // {
  432. // Notify($"{pm.Name} lift pin up ");
  433. // if (!pm.ChamberLiftPin.MoveUp(out string reason))
  434. // {
  435. // Stop(reason);
  436. // return false;
  437. // }
  438. // return true;
  439. // }, () =>
  440. // {
  441. // if (pm.ChamberLiftPin.IsUp)
  442. // return true;
  443. // return false;
  444. // }, timeout * 1000);
  445. // if (ret.Item1)
  446. // {
  447. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  448. // {
  449. // throw (new RoutineFaildException());
  450. // }
  451. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  452. // {
  453. // Stop($"{pm.Name} move lift pin up timeout, over {timeout} seconds");
  454. // throw (new RoutineFaildException());
  455. // }
  456. // else
  457. // throw (new RoutineBreakException());
  458. // }
  459. // }
  460. // public void LiftPinDown(int id, PMModuleBase pm, EnumTransferType type, int timeout)
  461. // {
  462. // Tuple<bool, Result> ret = ExecuteAndWait(id, () =>
  463. // {
  464. // Notify($"{pm.Name} lift pin down");
  465. // if (!pm.ChamberLiftPin.MoveDown(out string reason))
  466. // {
  467. // Stop(reason);
  468. // return false;
  469. // }
  470. // return true;
  471. // }, () =>
  472. // {
  473. // if (pm.ChamberLiftPin.IsDown)
  474. // return true;
  475. // return false;
  476. // }, timeout * 1000);
  477. // if (ret.Item1)
  478. // {
  479. // if (ret.Item2 == Result.FAIL)
  480. // {
  481. // throw (new RoutineFaildException());
  482. // }
  483. // else if (ret.Item2 == Result.TIMEOUT) //timeout
  484. // {
  485. // Stop($"{pm.Name} move down lift pin timeout, over {timeout} seconds");
  486. // throw (new RoutineFaildException());
  487. // }
  488. // else
  489. // throw (new RoutineBreakException());
  490. // }
  491. // }
  492. // }
  493. //}