JET-YDB\JET-YANGDB fa35e26745 1.recipe报错后,工艺步数会停留在报错的步数 1 hónapja%!(EXTRA string=óta)
..
DataHistory af4d131eb2 1.UI->Operation Log UI->Wafer History UI->Process History UI->Data History 增加查询日志 4 hónapja%!(EXTRA string=óta)
Event fa35e26745 1.recipe报错后,工艺步数会停留在报错的步数 1 hónapja%!(EXTRA string=óta)
ProcessHistory 5924c8ee8e mars200 1 éve%!(EXTRA string=óta)
Statistics 5924c8ee8e mars200 1 éve%!(EXTRA string=óta)
WaferHistory ea766340ce 1.增加素珀手臂配置以及增加了吸附和释放 10 hónapja%!(EXTRA string=óta)