zhouhr ff6df5295a add SunWay VCE && TMRobot and change by the configitem of VCEX.VceType && TM.TMType. месяцев назад: 8
..
AdLinkEthercat ee26035034 1.添加Ethercat 励兆 Match DeviceData 1 год назад
EFEM 10c22069fe 1.添加EFEM光栅报警开关 месяцев назад: 8
EPD 2136e3b838 1.分开kepler与Venus 漏气检测ui,删除多余代码 1 год назад
EPDs 4ffafb6001 EFEM界面优化 1 год назад
IODevices b6309f712c upload for Venus SE/DE месяцев назад: 8
PreAligner b6309f712c upload for Venus SE/DE месяцев назад: 8
SMIF 8436daeb68 Eliminate SE generation warning. 1 год назад
TM ff6df5295a add SunWay VCE && TMRobot and change by the configitem of VCEX.VceType && TM.TMType. месяцев назад: 8
VCE ff6df5295a add SunWay VCE && TMRobot and change by the configitem of VCEX.VceType && TM.TMType. месяцев назад: 8
AIRSYSChiller.cs 6bbe2e529b 1.删除或注释 Venus ChamberType 1 год назад
AdTecRF.cs b6309f712c upload for Venus SE/DE месяцев назад: 8
AdixenTurboPump.cs 3aee4d6673 1. Add the function of StatsDataManager in UI,RT месяцев назад: 11
CometRF.cs 33d0cd73dd 1.修复Pump Counter 显示错误bug месяцев назад: 11
DataDefine.cs 12fa756895 1. SETM will be Init while While SETM Abort Homing 1 год назад
DeviceManager.cs 3aee4d6673 1. Add the function of StatsDataManager in UI,RT месяцев назад: 11
ESC5HighVoltage.cs c1ae6b6ea1 1.Fix Chamber DE recipe process bugs 1 год назад
EdwardsPump.cs 10c22069fe 1.添加EFEM光栅报警开关 месяцев назад: 8
FinsPlc.cs 9163903164 Kepler2200优化 1 год назад
JetEPDBase.cs 4ffafb6001 EFEM界面优化 1 год назад
JetEfem.cs 5fc13b3f0c New Efem design лет назад: 2
JetKepler2200APM.cs a38cb6d743 1.Revtech Match 通讯时间100ms改为300ms месяцев назад: 8
JetKepler2200BPM.cs a38cb6d743 1.Revtech Match 通讯时间100ms改为300ms месяцев назад: 8
JetKepler2300PM.cs 79ffe0c064 1.分开Kepler与Venus SequenceView界面 месяцев назад: 10
JetPMBase.cs b6309f712c upload for Venus SE/DE месяцев назад: 8
JetVenusDEPM.cs b6309f712c upload for Venus SE/DE месяцев назад: 8
JetVenusSEPM.cs 3aee4d6673 1. Add the function of StatsDataManager in UI,RT месяцев назад: 11
JetVenusSEPMBase.cs 56f7c900fe add VenusSEPM class and IODefine && Set the pressure value in the simulation to always be no less than 0 1 год назад
KeplerSignalTower.cs 7a1faeac74 Redesign the EFEM module for thread safe issue. 1 год назад
LzMatch_Ethercat.cs 6d6f659b77 1.Kepler2200 TM/PM控大压力10Pa,添加工艺结束,等待压力稳定(TM/PM压差满足要求)TM再Pick功能 1 год назад
PendulumValve.cs b6309f712c upload for Venus SE/DE месяцев назад: 8
PlasmaController.cs 75710d35d8 RF Match. лет назад: 2
RevtechMatch.cs a38cb6d743 1.Revtech Match 通讯时间100ms改为300ms месяцев назад: 8
SMCChiller.cs b6309f712c upload for Venus SE/DE месяцев назад: 8
SMCChillerDrive.cs b6309f712c upload for Venus SE/DE месяцев назад: 8
SMCShareChiller.cs b6309f712c upload for Venus SE/DE месяцев назад: 8
SkyPump.cs 10c22069fe 1.添加EFEM光栅报警开关 месяцев назад: 8
TruPlasmaRF.cs b6309f712c upload for Venus SE/DE месяцев назад: 8
TruPlasmaRF_Ethercat.cs 7ff42d4eca 1.添加 Process 切换step Match/BiasMatch设置值 offset功能,c1/c2小于offset不设置 1 год назад